판매용 중고 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 102-8 #9113171

ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 102-8은 반도체 제조업체와 생산량을 향상시키기 위해 특별히 설계된 고성능, 완전 통합 포토레지스트 처리 장비입니다. 두 개의 강력한 처리 소스와 16 비트 MicroH 프로세서로 구성됩니다. 이 시스템은 레이저 스캐닝 (scanning) 과 클리닝 (cleaning) 을 통합하여 입자 오염을 최소화하고 우수한 결과를 보장하는 첨단 기술로 제작되었습니다. 이 장치는 여러 워크플로와 수많은 etch 기술의 적용을 통합 할 수 있습니다. 주요 특징은 ASIS (Active Substrate Image Stabilization) 와 패턴 전송에 대한 최고 수준의 정확성과 반복 성을 제공하는 Core Registration Machine입니다. 이 도구는 또한 뛰어난 필드 균일성, 향상된 패턴 충실도, 평평한 상단 높이 감소, 깊이 감소 등을 제공합니다. 전체 패키지에는 통합 소스, 광학 필터, 레이저 셔터, 빔 블랭킹, 필름 모션 메커니즘, 슬릿 메커니즘 및 가스 전달 서브시스템이 포함됩니다. 이 자산은 또한 광범위한 스펙트럼 저항에서 AL (Advanced Light Source) 소스에 이르기까지 다양한 노출 소스를 제공합니다. 또한 USI UH 102-8은 내부 뷰 포트, 통합 클린 룸 벽/시설, 자외선 및 레이저 소스, 수동/자동 조정 스테이션, 레이저 스캔 모델 및 마이크로 팟 마스크와 같은 다양한 옵션을 제공합니다. 자동 (automatic) 필름 및 슬릿 (slit) 측정 기능은 자동 빔 정렬 장비와 함께 다양한 응용 프로그램에서 오류 없는 (error-free) 노출이 가능하도록 합니다. ASIS 메커니즘은 작은 기판 오류 (서브 미크론 정권에서도) 를 자동으로 수정하여 정확한 이미지 배치를 보장합니다. 또한 고성능 옵틱 (optic) 과 레이저 스캐닝 기술은 모든 노출에 대해 빠르고 효율적인 이미지를 보장합니다. 전반적으로, ULTRON SYSTEMS INC UH 102-8은 고급 반도체 제조업체의 요구 사항을 충족시키고 목표를 달성하기 위해 특별히 설계된 뛰어난 포토리스 처리 시스템입니다. 정교한 시스템과 기술은 패턴 전송의 탁월한 성능과 안정성을 보장합니다. 또한 이 장치의 하이엔드 기능은 매우 정확하고, 반복 가능하며, 낮은 스프레드 결과를 보장합니다.