판매용 중고 ULTRON SYSTEMS INC / USI Prism 350 #9092430

ID: 9092430
Selective coating system PMP (Precision metering pump) liquid delivery system Custom spray head Custom liquid storage Pumping and mixing.
ULTRON SYSTEMS INC/USI Prism 350은 모든 리소그래피 응용 프로그램을 위해 설계된 고급, 모듈 식, 비용 효율적인 포토 esist 개발 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼에 저항을 적용한 다음 UV 또는 가시 광선에 노출시키는 데 사용됩니다. 이렇게 하면 사용자가 저항을 패턴화 (pattern) 한 다음, 빛에 노출된 웨이퍼의 일부를 식각시킬 수 있습니다. 이 장치는 정확한 투여 정확성과 고급 자동화 (Advanced Automation) 로 인해 정확한 저항 코팅에서 뛰어난 성능을 제공하며, 섬세한 저항 패턴이 있습니다. 웨이퍼 포드 (wafer pod) 에 웨이퍼 카세트를 배치하는 웨이퍼 로봇 (wafer robot) 과 정확한 분배 및 린스 (rinse) 시간을 제공하는 정밀 펌핑 머신 (pumping machine) 이 특징입니다. "웨이퍼 '는 접촉 도구 나 근접 도구 를 통하여 빛 에 노출 될 수 있으며, 이어서" 기판' 난방 을 통해 일관성 있는 저항 개발 과정 을 유지 할 수 있다. 이 도구는 또한 청소 공정을 위해 정밀 증류 및 필터링 된 수원 (water source) 과 정밀한 저항 코팅을위한 통합 필름 에저 (integrated film edger) 를 함유하여 환경 보호를 강화했습니다. 자동 폐기물 처리 자산은 rinsing 동안 입자 생성을 줄이기 위해 설계되었습니다. 사용자에게 친숙한 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 기능이 더욱 향상되어 직관적인 워크플로우 및 예측 진단을 제공합니다. 연락처와 근접성을 모두 갖춘 Hybrid 시스템에는 터치 스크린 기술, 향상된 정렬 정확도, 확장 용량 범위 및 추가 해결 기능이 포함되어 있습니다. USI Prism 350 photoresist 개발 모델은 비용 효율적인 패키지에서 유연성, 성능 및 사용 편의성을 제공합니다. 높은 처리량과 일관된 생산량을 통해 안정적이고 효율적인 생산성을 제공합니다. 광범위한 기능과 고급 자동화 (Advanced Automation) 기능을 갖춘 이 장비는 대용량 생산 프로세스와 다양한 프로세스/애플리케이션에서 정교한 고급/섬세한 저항을 개발하는 데 이상적입니다.
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