판매용 중고 ULTRA OPTICS MR3 #293614892

울트라 옵틱스 MR3 (ULTRA OPTICS MR3) 는 대형 응용 프로그램의 특수 요구 사항을 위해 설계된 포토리스 장비입니다. 높은 효율성과 안정성으로 다양한 작업 (청소, 코팅, 노출, 개발 및 에칭) 을 처리합니다. 이 시스템은 다수의 모듈 식 (modular) 구성 요소로 구성되어 있으며, 각 구성 요소는 특정 목적으로 설계되었습니다. 장치의 중심에는 실제 리소그래피 프로세스를 수행하는 정밀 스테퍼/스캐너 (precision stepper/scanner) 플랫폼이 있습니다. 스테퍼/스캐너 메커니즘은 직경이 최대 300mm 인 웨이퍼 (wafers) 를 포함하여 모든 크기의 기판을 유지하도록 설계되었습니다. 이를 통해 모든 크기의 photomask가 정확하게 노출됩니다. 노출 된 기질은 노출 후 베이크 히터 (post-exposure bake heater) 에 넣고 가열되어 포토 esist의 만족스러운 결합을 보장한다. 이 "오븐 '으로 생성 된 광저항 층 의 신속 한 경화 시간 과 일관성 있는 깊이 는 재래식 열 결합 과정 에 비하여 더 큰 정확도 를 보장 해 준다. 그런 다음, 익힌 기판을 개발자 스테이션으로 옮겨, 황산 용액에 담근다. 이 공정 은 기판 에서 노출 되지 않은 "포토레지스트 '의 제거 를 자동화 하고 원하는" 패턴' 을 밝혀 주며, 그것 을 더 처리 할 수 있다. 또한, 통합 에칭 머신은 딥 에칭 및 드라이 에칭을 수행 할 수 있습니다. 이 공구에는 잔류 포토 esist 및 기타 재료의 기질을 청소하기위한 정밀 스피너 (spinner) 도 포함되어 있습니다. 에셋에는 자체 워크플로우 소프트웨어 (workflow software) 가 포함되어 있는데, 이를 통해 사용자는 여러 작업 설정을 만들고 리소그래피 프로세스를 추적할 수 있으며 노출 시간, 노출 온도, 베이킹 온도 등 다양한 매개변수를 사용자 정의할 수 있습니다. 요약하자면, MR3은 높은 정확도와 신뢰성을 가진 고급 포토리스 연주자 (photoresist) 모델입니다. 완전 자동화 (Fully Automated) 기능을 통해 다양한 기판을 빠르고 편리하게 처리할 수 있으며, 통합형 소프트웨어를 통해 여러 애플리케이션에 적합한 프로세스를 손쉽게 조정할 수 있습니다 (영문). 이 제품은 고품질의 장치, 컴포넌트 및 사진 (photolithographic) 공정이 필요한 기타 제품을 생산합니다.