판매용 중고 TRYMAX Panther 308 #9260887

TRYMAX Panther 308
ID: 9260887
빈티지: 2010
System For EWLB, 12" 2010 vintage.
TRYMAX Panther 308은 마이크로 가공에 사용하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 반도체· 관련 기술 등에서 마이크론 (micron) 급 기능을 생산할 수 있도록 설계되었으며, 반도체· 관련 기기 제작에서 구조적· 패턴화 솔루션을 만들 수 있다. 팬더 (Panther) 308 시스템은 가벼운 노출 기술을 사용하여 기판에서 선 너비 (line width) 와 같은 박막 패턴을 생성합니다. 이것은 매우 정확한 패턴을 생성하도록 설계된 레이저 다이오드 조명 장치 (laser-diode illumination unit) 를 사용하여 수행됩니다. TRYMAX Panther 308 기계는 최소 결함으로 고품질 미크론 수준의 정밀도를 제공하도록 설계되었습니다. 이는 두 가지 중요한 구성 요소 (광 포지셔닝 플랫폼 및 정밀 포지셔닝 계측) 를 활용하여 수행됩니다. 광학 위치 지정 플랫폼 (Optical Positioning Platform) 은 높은 정확도와 최소한의 결함으로 레이저 광을 전달할 수 있습니다. 결과적으로, 화학 에칭과 같은 노출 후 조작이 필요하지 않고 패턴이 형성됩니다. 정밀 위치 계측은 Panther 308이 패턴을 몇 나노미터 이내로 정확하게 정렬하고 로트 투 로트 (lot-to-lot) 및 웨이퍼 투 웨이퍼 (wafer-to-wafer) 에서 균일하고 일관된 결과를 얻을 수 있도록 합니다. 이것은 전동 단계 및 디지털 비디오 현미경 (DVM) 을 사용하여 달성됩니다. 전동식 단계 (motorized stage) 를 통해 기판을 가로질러 패턴을 정확하게 정렬할 수 있고, DVM (DVM) 을 통해 패턴 배치를 정확하게 실시간으로 확인할 수 있습니다. TRYMAX Panther 308에는 패턴 사용자 정의 및 최적화가 가능한 사용자 인터페이스도 있습니다. 이렇게 하려면 노출 레벨 매개변수를 설정하고, 정렬 및 포커스를 조정해야 합니다. 또한 다양한 멀티미디어 형식과 입력 소스 (Input Source) 를 지원하므로 패턴을 생성하거나 기존 형식을 조작할 때 사용 편의성과 유연성이 향상됩니다 (영문). Panther 308 photoresist 자산은 반도체 및 관련 기술에서 미크론 스케일 기능을 생산하기위한 강력하고 정확한 도구입니다. 최소 수준의 결함으로 고품질 결과를 제공하며, 무대화된 스테이지 (stage), 디지털 비디오 현미경 (digital video microscopy), 사용자 친화적 인터페이스 (user friendly interface) 를 통해 패턴 정렬 및 초점 조정에 편리하고 효과적인 모델을 제공합니다. 전반적으로 TRYMAX Panther 308 포토 esist 장비는 반도체 또는 관련 장치 제작과 관련된 모든 사람에게 적합한 선택입니다.
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