판매용 중고 TRYMAX NEO-3000 #9289694

TRYMAX NEO-3000
ID: 9289694
빈티지: 2016
Reactive Ion Etcher (RIE) 2016 vintage.
TRYMAX NEO-3000 Photoresist Equipment는 복잡한 photoresist 프로세스에 대해 정확하고 일관된 수준의 에칭 및 증착을 제공하도록 설계된 혁신적인 새로운 시스템입니다. 이 장치는 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 구성 요소를 제조하기 위해 정확하고, 반복 가능하며, 신뢰할 수있는 프로세스를 만들기 위해 함께 작동하는 일련의 구성 요소로 구성됩니다. 코어에서 NEO-3000 기계에는 포토 esist 에칭 및 증착 프로세스를 단순화하고 가속화하는 자동 저항 (automated resist) 프로세서가 포함되어 있습니다. 프로세서는 사용이 간편하고 직관적인 소프트웨어 인터페이스 (software interface) 에 의해 제어되며, 이를 통해 사용자는 프로세스 레시피를 만들고 저장할 수 있습니다. 레시피 (Recipe) 는 프로세스의 다양한 요소를 추적, 제어하는 데이터 로깅 및 관리 도구 (Data Logging and Management Tool) 를 사용하여 저장하고 적용됩니다. 전체 자산에는 다양한 안전 (Safety) 기능이 내장되어 있어 안전하고 안전한 환경에서 포토레시스트 (Photoresist) 프로세스가 수행되도록 합니다. 이 모델에는 프로세스 정밀도 (process precision) 와 제어 (control) 를 향상시키는 다양한 고급 기능이 포함되어 있습니다. 예를 들어, 장비에는 '태깅 (Tagging)' 옵션이 있으며, 각 레지스트 레시피를 전송 중 웨이퍼에 연결하여 프로세서가 스테이션에서 스테이션으로 이동하면서 적절한 레시피를 자동으로 선택합니다. 프로세서에는 '빈 (Bin)' 기능도 포함되어 있습니다. '빈 (Bin)' 기능은 저항 프로세스의 모든 단계를 고려하고 결함 또는 오염 원인을 제거하여 정밀도를 유지하는 자체 청소 시스템 역할을합니다. TRYMAX NEO-3000 photoresist 유닛은 복잡한 photoresist 응용 프로그램에 대한 높은 수준의 프로세스 우수성을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 안전 (Safety), 모니터링 (Monitoring) 및 제어 (Control) 기능은 오류 위험을 최소화하면서 일관된 품질의 제품을 제공합니다. 사용이 간편하고 직관적인 소프트웨어 인터페이스 (Software Interface) 를 통해 시스템 생산성을 높이고 운영 비용을 절감하려는 기업에 이상적입니다.
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