판매용 중고 TRYMAX NEO-3000 #9269770

TRYMAX NEO-3000
ID: 9269770
Reactive Ion Etcher (RIE) 2010 vintage.
TRYMAX NEO-3000은 고급 리소그래피 응용 프로그램을 위해 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 제품은 혁신적인 기술의 조합을 활용하며, 관련 노출의 월등한 매칭을 가능하게 합니다. 여기에는 G-PIM (Grayscale Positive Intensity Modulation), VA2 (Vertical Alignment) 및 SPP (Selective Pattern Placement) 가 포함됩니다. 그 결과, 노출 매개변수의 최소한의 조정으로 미세한 피쳐 크기와 좋은 CD 균일성을 달성 할 수 있습니다. NEO-3000은 가변 스캔 너비가있는 고정밀 고속 다상 벡터 스캐너를 갖추고 있습니다. 이것은 기능 크기 제어에 대해 +/-0.2um 정확도에 도달 할 수있는 매우 정확한 장치입니다. 이러한 정확성을 통해 다른 사진 저항층 (Photo Resist Layer) 간에 매우 낮은 수준의 조정이 필요한 뛰어난 패턴 매칭이 가능합니다. 이 시스템에는 다양한 맞춤형 노출 제어 매개변수 (customizable exposure control parameters) 와 결합 된 고주파 광원이 포함되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 필요한 정확한 절단 정확도와 깊이를 달성할 수 있습니다. 또한, TRYMAX NEO-3000에는 사용자가 정의한 매개변수에 따라 노출 시간과 용량을 정확하게 제어 할 수있는 투약 공구가 있습니다. 또한 NEO-3000 에는 모니터링 시스템 (monitor system) 이 포함되어 있어 사용자가 실시간으로 유닛의 성능을 모니터링할 수 있으므로 오류가 발생하기 쉬운 모든 작업을 최소화할 수 있습니다. 전반적으로, TRYMAX NEO-3000 (TRYMAX NEO-3000) 은 고급 포토리스 (photoresist) 머신으로, 사진 저항 레이어 사이에 뛰어난 패턴 매칭을 제공하도록 설계되었으며, 매우 낮은 수준의 조정이 필요하며 높은 수준의 정확성과 반복성을 제공합니다. 정밀한 패턴 배치, 복합 패턴 일치 (complex pattern matching) 또는 피쳐 크기 제어가 필요한 모든 리소그래피 응용 프로그램에 적합한 솔루션입니다.
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