판매용 중고 TOKYO SHOKAI Miniax DH150 #9258849
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TOKYO SHOKAI Miniax DH150은 리소그래피 이미지 개발에 사용되는 혁신적인 포토 esist 장비입니다. UV (Ultra Violet) 광 노출을 사용하여 반도체 웨이퍼에 잠재 이미지를 형성하는 이중 빔 시스템입니다. 이 장치는 리소그래피 (lithography) 프로세스를 촉진하고 대용량, 고정밀 웨이퍼 (wafer) 생산의 요구를 충족시키기 위해 설계되었습니다. DH150에는 각각 효과적인 1.5 메가 픽셀 해상도의 2 개의 고급 UV 노출 모듈이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 웨이퍼 (wafer) 에 획득한 이미지의 정밀도 및 해상도가 뛰어납니다. 조정 가능한 반복 가능한 노출 범위 (1.7 ~ 207 mJ/cm2) 를 가지며, 사용자는 다양한 웨이퍼 유형에서 이미지를 안정적으로 개발하고 복잡한 리소그래피 요구 사항을 충족 할 수 있습니다. Miniax DH150 머신에는 매우 정확한 터널 슬라이드 스테이지가 장착되어 있어, 사용자가 균일 한 웨이퍼 노출을 얻을 수 있습니다. 이것은 고해상도 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 에도 포토리스 소재 (photoresist material) 의 빠르고 정확한 노출에 이상적입니다. 이 도구는 또한 고급 터널 스캐닝 에셋 (advanced tunnel scanning asset) 을 사용하여 사용자에게 균일성과 정확성이 향상되었습니다. TOKYO SHOKAI Miniax DH150은 효율이 높고 안정적인 스프레이 모델로 설계되어 포토 esist 물질의 효율적인 전달을 보장합니다. 이 장비는 200mm 스프레이어 헤드 (200mm sprayer head) 로 구성되어 있으며, 전체 웨이퍼 표면에 균일 한 스프레이 패턴을 제공 할 수 있습니다. 또한 조정 가능한 스프레이 노즐 길이를 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 스프레이 패턴을 정확하게 사용자 정의하고 리소그래피 (lithography) 요구 사항을 최적화할 수 있습니다. 미니액스 DH150 (Miniax DH150) 은 다양한 웨이퍼 유형에서 효율적이고 정확한 리소그래피 프로세스를 제공하는 고급 포토리스 (photoresist) 시스템입니다. 매우 정확한 듀얼 빔 유닛, 고효율 터널 슬라이드 스테이지, 신뢰할 수있는 스프레이어 머신 (Splayer Machine) 이 장착되어 있습니다. 이 도구는 정밀도 및 고해상도 이미지 (Image Resolution Image) 를 구현하기 위한 탁월한 선택으로, 임의의 리소그래피 애플리케이션에 필수적인 도구입니다.
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