판매용 중고 TOK TS-8162FD #293642815

TOK TS-8162FD 포토 esist 장비는 집적 회로 (IC) 제조에 사용되는 고성능 산업 시스템입니다. 이 장치는 최고 수준의 포토 esist 접착 및 에치 저항을 보장하는 고급 저 마비 정밀 클리닝 기능을 갖추고 있습니다. 이 기계는 고도의 레이저 리소그래픽 에칭 (lithographic etching) 기술을 사용하여 실리콘 웨이퍼에서 소형화 된 디자인을 생산할 수 있으며, 마이크로 일렉트로닉 제조 공정에 사용하도록 설계되었습니다. 이 도구는 고도의 유연성을 제공하면서, 정확한 해상도와 고속 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. 이것은 정교한 현장 측정 자산, 정확한 도펀트 제어, 정확한 타이밍 조정, 다중 레이어 기능, 다양한 레이어 혼합 보상 교환 프로세스 (mix-compensated exchange process) 등 다양한 기능을 통해 수행됩니다. 또한이 모델에는 자체 완전 자동 습식 공정 장비가 포함되어 있습니다. 이 시스템은 다양한 제어 시스템 (Control System) 과 호환되므로 기존 운영 시스템에 쉽게 통합할 수 있습니다. 여기에는 레시피 라이브러리 (Library of 레시피) 및 기타 리소스 (resource) 도 포함되어 있어 운영 프로세스를 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 이 장치는 전체 생산 프로세스를 개선하고 IC 의 정확도와 설계 세부 (design details) 를 높일 수있는 능력이 뛰어납니다. TS-8162FD의 RIE (Reactive Ion Etching) 는 최대 1m의 해상도로 고해상도 패턴을 생성 할 수 있습니다. 그 진공 기능 은 투명 한 "기판 '처리 를 가능 케 하며, 생산 속도 는 증가 시키는 반면, 기계 는 고품질 의 장치 제작 을 동시 에 유지 한다. TOK TS-8162FD는 200MHz 프로세서로 구동되므로 빠르고 신뢰할 수 있는 도구입니다. 웨이퍼 이동용 이동식 암 (removable arm to transfer wafer), 세탁용 웨이퍼 탱크 (wafer tank for washing) 및 온도 조절 거품 클리닝 스테이션 등 다양한 기능과 액세서리를 자랑합니다. 자산에는 여러 개의 레이저 (laser) 가 있으며, 독립적으로 조정 및 구성할 수 있으므로 다양한 프로세스에 적합합니다. TS-8162FD (TS-8162FD) 는 신뢰성이 뛰어나고 강력한 생산 모델로, 탁월한 정확도와 정확도로 다양한 집적회로를 만드는 데 이상적입니다. "마이크로일렉트로닉스 (microelectronics) '제조업체에게는" 맞춤형 생산 공정' 과 복잡한 공정 처리 능력을 제공한다.