판매용 중고 TOHO KASEI SD-08 #9280838

TOHO KASEI SD-08
ID: 9280838
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1994
Spin dryer, 8" 1994 vintage.
TOHO KASEI SD-08은 전자, 광전자 및 MEMS 응용 프로그램 용 기판 코팅 및 패턴을 위해 TOHO KASEI Co., Ltd.에서 개발 한 포토 esist 장비입니다. 이 시스템에는 다른 포토 esist 시스템에는 없는 두 가지 혁신적인 기술이 포함되어 있습니다. 첫 번째 기술은 소설 SDD (Substrate Dirigent Dispensing Method) 입니다. 이 방법 은 독자적 인 정밀 분배 장치 를 사용 하는데, 이것 은 두께, 곡률, 기판 방향 과 같은 여러 가지 특징 을 가질 수 있는 기판 에 "포토레시스트 '의 균일 한" 코우팅' 을 제공 할 수 있다. 포토 esist의 이러한 정확한 적용은 추가 포스트 프로세싱 없이보다 균일 한 커버리지 (coverage) 와 더 정확한 패턴 (patterning) 을 보장합니다. SD-08에 등장한 두 번째 기술은 고급 PEHD (Photon Emission Hotspot Detection Method) 입니다. 이 방법을 사용하면 TOHO KASEI SD-08 (TOHO KASEI SD-08) 이 광물질 (photoresist) 의 에너지 분포 패턴의 변경을 감지하고 레이저 빔에 노출 될 때 기질의 가열로 인한 기판을 감지 할 수 있습니다. 이를 통해 장치가 레이저 전원 및 기타 매개변수를 자동으로 조정하여 최적의 노출을 보장하여 패턴 전송 (pattern transfer) 및 고정밀 (high-precision) 이미징이 향상됩니다. 또한 SD-08에는 고감도 이미지 향상 사진 모듈 (고감도 이미지 향상 사진 모듈), 레이어 두께 제어 머신 (Layer Thickness Control Machine) 등의 유용한 다른 기능이 포함되어 있어 Photoresist 레이어 두께를 보다 정확한 패턴화 프로세스를 위해 설정할 수 있습니다. 요약하자면, TOHO KASEI SD-08은 두 가지 기술 (Substrate Dirigent Dispensing Method 및 Photon Emission Hotspot Detection Method) 을 갖춘 고급 photoresist 도구로, 포토 esist를 더욱 정확하고 적용하고 정밀도를 향상시키는 최적의 레이저 노출을 보장합니다. 패턴. 다른 유용한 기능은이 자산을 전자, 광전자 및 MEMS 응용 프로그램을위한 다용도 및 고급 포토 esist 솔루션으로 마무리합니다.
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