판매용 중고 TOHO KASEI SD-06 #9280836

TOHO KASEI SD-06
ID: 9280836
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1994
Spin dryer, 6" 1994 vintage.
TOHO KASEI SD-06은 실리콘 칩 제조와 같은 고정밀도 및 고생산성 어플리케이션을 위해 설계된 최첨단 포토레지스트 장비입니다. 그것 은 매우 정밀 한 리소그래피 (lithography), 사진 정의 공정 에서 패턴 전달 (pattern transfer) 과정 을 허용 하며, "마스크 '없는 노출 정확도 가 1" 마이크로 미터' 보다 더 높다. 이 시스템은 편리한 장치 구성, 간편한 설치, 유지 관리를 위한 모듈식 설계로 비용 효율적입니다. 높은 처리 정확성과 일관된 성능, 낮은 잔류 높이, 높이 변화 (최대 12%) 를 제공합니다. SD-06은 더 빠른 건조 포토 esist 필름과 저전력 레이저 다이오드 소스로 생산성 향상을 제공합니다. 이 기계는 또한 높은 광학 에너지 효율 기능으로 인해 처리 비용이 절감됩니다. TOHO KASEI SD-06의 고해상도는 10 음 (um) 이며, 고급 "이미지 인식" 기술 덕분에 정렬 및 초점의 정확성이 향상되었습니다. 또한, 노출에 대한 전체 파장 제어 (full-wavength control of exposure) 는 재료 및 프로세스 조건의 다른 요구 사항에 맞게 최대 유연성을 제공합니다. 또한 고평준화 기능 (high leveling capability) 을 허용하며, 각 노출 영역이 동일한 양의 빛을 수신하여 레이어 해상도를 향상시킵니다. 이외에도 SD-06 은 "유해물질관리방법 '과" 위조방지 조치' 로 안전정보를 개선했다. 게다가, 이 공구 는 정밀 하고 균일 한 기압 때문 에 기계 의 정확도 가 우수 하며, "마스크 '없는 노출 자산 을 이용 한다. 이를 통해 단일 처리 설정에서 보다 정확한 패턴을 인쇄할 수 있습니다. 결론적으로, TOHO KASEI SD-06은 칩 제조에서 높은 품질의 성능을 보장하기 위해 뛰어난 수준의 유연성, 정확성 및 생산성을 제공하는 비용 효율적이고 사용자 친화적 인 포토리스 (photoresist) 모델입니다. 대규모와 소규모의 실리콘 칩 (silicon chip) 제조에 이상적인 선택이다.
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