판매용 중고 TOHO KASEI SD-06 #9280581
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TOHO KASEI SD-06 (TOHO KASEI SD-06) 은 다양한 포토 esist 재료 처리 작업을 처리하도록 설계된 아트 포토 esist 장비의 상태입니다. 포토리스 (photoresist) 응용 프로그램을 쉽고 빠르게 만들 수있는 고급 기능이 장착되어 있습니다. 이 시스템은 테이프 전송 스테이션, 포토리스 스핀 온 스테이션 (photoresist spin-on station) 및 포토 esist 스트립 스테이션 (photoresist strip station) 의 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 테이프 전송 스테이션은 폴리 이마이드 (Polyimide) 또는 마일라 (Mylar) 테이프에 장착 된 기판 간 분배 및 전송을 허용합니다. 광저항 스핀 온 스테이션 (photoresist spin-on station) 은 감광 물질의 균일 한 필름을 기판에 빠르고 직접 전달하도록 설계되었습니다. KASEI SD-06은 더 높은 스핀 속도 (최대 3,000 RPM) 를위한 개선 된 웨이퍼 척 (wafer chuck) 을 특징으로하여 웨이퍼의 빠르고 균일 한 코팅을 보장합니다. 포토레시스트 스트립 스테이션 (photoresist strip station) 은 개발 후 감광 물질을 제거하여 기판에서 깨끗하고 정확한 표면 마무리를 생성하도록 설계되었습니다. 이 장치는 다양한 점도를 가진 일부를 포함하여 여러 감광 재료를 지원합니다. 고점도 재료에는 디스펜스 노즐 (옵션) 을 사용할 수 있습니다. TOHO KASEI SD-06에는 시스템 작동과 모니터링이 용이한 LCD 디스플레이가 있습니다. 사용자에게 친숙한 터치 스크린 인터페이스를 통해 매개 변수 프로그래밍 및 제어를 수행할 수 있습니다. 또한 유지 관리 작업을 위해 자동화된 클리닝 사이클이 있습니다. 전반적으로, SD-06은 반도체 산업에서 사용하기에 적합한 강력하고 신뢰할 수있는 포토리스 (photoresist) 도구입니다. 뛰어난 성능과 프로세스 일관성을 가능하게 하는 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 3 가지 주요 구성 요소는 다양한 photoresist 재료 처리 작업에 적합합니다. 또한 사용자 친화적인 컨트롤, 대형 LCD 디스플레이, 고속 스핀레이트 (Spin Rate) 를 통해 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다.
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