판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TAB1500 #293660522
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TEL/TOKYO ELECTRON TAB1500은 반도체 장치 생산 및 조립을 위해 설계된 포토 esist 이미징 장비입니다. 첨단 이미지 처리 기능으로 정밀도, 정확도가 높은 칩 제작에 이상적인 선택입니다. 이 시스템은 사용자 친화적 인 터치스크린 (touch-screen) 인터페이스를 통해 photoresist 처리 단계를 사용자에게 알려줍니다. 포토레시스트 (photoresist) 과정을 시작하기 위해 사용자는 먼저 원하는 반도체 웨이퍼를 장치의 웨이퍼 스테이지에 로드해야 합니다. 일단 "웨이퍼 '가 적재 되면 기계 는" 웨이퍼' 의 원하는 층 을 자외선 으로 노출 시킨다. 그런 다음 알고리즘을 사용하여 레이어의 정확한 노출을 위해 광원의 강도, 패턴, 각도를 미세 조정 (minute adjustment) 할 수 있습니다. photoresist solvent 프로세스는 원하는 레이어가 UV 빛에 노출 된 직후 시작됩니다. 용매가 적용되면, 공구는 웨이퍼를 빠르게 회전시켜 일관된 코팅을 적용합니다. 또한, 스마트 기판 처리 모드와 결합 된 에셋의 2 센서 (two-sensor) 기술은 웨이퍼가 짝수 코팅으로 덮여 있는지 확인합니다. TEL TAB1500은 또한 정확성과 효율성을 향상시키기 위해 강력한 에치 후 프로세스 모델을 갖추고 있습니다. 여기에는 회전한 후 photoresist 레이어의 원치 않는 영역을 에칭하고, 두께 모니터 (thickness monitor) 를 사용하여 나머지 photoresist 레이어 두께를 측정하고 그에 따라 웨이퍼 높이를 조정합니다. 그런 다음 원하는 두께 (thickness) 가 달성 될 때까지 (웨이퍼가 언로드되고 사이클이 완료되기 전) 기술을 반복합니다. 광전사 과정은 정확한 반도체 소자를 만드는 데 필수적이며, TOKYO ELECTRON TAB1500 (TOKYO ELECTRON TAB1500) 은 이러한 절차를 수행하는 데 이상적인 모델입니다. 고급 이미지 처리 (Advanced Image Processing) 기능은 에치 프로세스 이후의 모델과 함께 매우 효율적이고 정확합니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 및 2 센서 (two-sensor) 기술 도구를 통해 일관되고 균일한 코팅을 통해 생산량이 증가합니다.
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