판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8 #9275822

ACT 8 용 TEL/TOKYO ELECTRON PHP Oven은 반도체 장치 생산 및 LCD 패널 장치 용 FA 용으로 설계된 '포토 esist' 장비입니다. TEL-B-Tech PPS 기술을 사용하여 정확하고 안정적인 가열을 제공하여 민감한 전자 제품에 대한 최적의 결과를 얻습니다. POCL3 (Poxychloride) 유형 인 (POCL3) 은 LCD 패널 장치를 제작하는 photolithography 프로세스에 사용되는 저항층을 PHP 오븐에서 가열하여 일관된 품질을 보장합니다. PHP 오븐은 짧은 챔버 및 난방 구역, 배기 구역, 확산 구역 및 배기 챔버로 구성됩니다. POCL3 저항층의 안정성을 유지하기 위해 산소량을 2pm 이하로 효율적으로 감소시키도록 설계되었습니다 (예: POCL3 Resist Layer). 가열 구역에는 펠티어 (Peltier) 요소가 장착되어 시스템의 온도를 20 ~ 200 ° C 범위 (15 개의 개별 열 채널) 내에 유지합니다. 확산 구역에는 또한 오븐의 온도를 0 ~ 200 ° C 범위 내에서 유지하기 위해 펠티어 (Peltier) 요소가 장착되어 있습니다. 또한, 배기 챔버에는 POCL3의 환경 외출을 방지하는 오염 제거 장치가 있습니다. PHP 오븐은 또한 고출력 PIR 적외선 램프 (PIR infrared lamp) 를 특징으로하여 오븐 챔버에서 기판으로 열전도를 증가시켜 더 나은 결과를 가져옵니다. 또한 정전기 필터를 사용하여 배기 지대에서 방출 된 미세 먼지 (fine dust) 를 줄입니다. 또한, 제어 기계에는 진공 제어 및 온도 조절이 장착되어 있습니다. TEL PHP Oven for ACT 8은 민감한 전자 제품, 특히 LCD 패널 장치 제작에 안정적인 조건을 제공하는 안정적이고 효율적인 방법입니다. 이 툴은 오류 및 위험 요소를 최소화하면서 빠르고 예측 가능한 결과를 제공하도록 설계되었습니다.