판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8 #9275723

TEL Act 8 PHP Oven은 포토 esist 처리를 위해 설계된 열 어닐링 장비입니다. 그것 은 "핫플레이트 '와 조사원 의 조합 을 사용 하여 광저항" 필름' 을 정확 하게 가열 하고 치료 한다. Act 8 PHP의 핫 플레이트의 온도 범위는 200 ~ 400 ° C이며 ± 0.2 ~ 1.0 ° C 정확도까지 제어 할 수 있습니다. "핫플레이트 '는 수냉식 재킷을 사용해 온도상승을 줄이고 온도를 일정하게 유지하는 냉각장치를 이용해 냉각시킨다. 오븐의 조사원은 375W의 전력을 가진 텅스텐 할로겐 램프입니다. 310 ~ 410nm 범위의 장파 자외선을 조사 할 수 있습니다. 컴팩트 한 디자인을 가지고 있으며, 1 ~ 9mm 범위의 포토 esist 필름을 조사할 수 있습니다. Act 8 PHP Oven은 짧은 시간 안에 포토 esist 영화를 효과적으로 치료할 수 있습니다. 온도의 상승 설정이 빠르며, 과도한 온도 변동으로 인해 광저항 필름 (photoresist film) 을 강조하지 않고도 원하는 온도에 빠르게 도달 할 수 있습니다. 오븐 (Oven) 에는 스마트 파일럿 (Smart Pilot) 기능도 있으며 서로 다른 필름 모양에서 매끄럽고 로컬 어닐링도 가능합니다. 방사선 소스에 대한 정확한 타이밍 유닛 (timing unit) 이 있으며, 보호 광 노출 시간을 초과하지 않도록 사전 설정 될 수 있습니다. Act 8 PHP Oven은 포토 esist 처리에 적합한 고급 열 어닐링 머신입니다. 내장 기술은 정확한 온도 조절 및 균등하게 분산 된 조사 (irradiation) 를 보장하여 포토레스 필름 처리에 최적의 조건을 제공합니다. 또한 과도한 온도 변동으로 인해 광저항 필름 (photoresist film) 이 손상되지 않도록 보호하면서 원하는 온도에 빠르게 도달 할 수 있습니다.