판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8 #9273728

ACT 8 용 TEL/TOKYO ELECTRON PHP Oven은 반도체 장치 제조의 사진 분석 프로세스에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 다재다능한 이 도구는 양성 (positive) 과 음의 (negative) 사진작가의 개발을 위한 안전한 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 이중 운송 메커니즘, 고급 난방 및 냉각 시스템, 통합 로봇 암 (robotic arm) 이 장착 된 챔버로 구성됩니다. 또한 필요에 따라 마스크와 개체 서피스 (object surface) 수리를 가능하게 합니다. "오븐 '의 이중 수송 장치 는 동일 한 기판 에 있는" 웨이퍼' 와 다른 물체 들 을 모두 적재, 언로드 할 수 있게 해 준다. 이를 통해 다른 포토리스트 (photoresist) 와 기판 사이를 전환함으로써 보다 빠르고 효율적인 처리를 할 수 있습니다. 또한 프로세스를 더욱 능률화하기 위해 조정 가능한 기계적 매개변수가 장착되어 있습니다. 장치의 온도 제어는 고온과 저온을 모두 유지할 수 있는 고급 PID (Advanced PID) 기반 온도 컨트롤러 (Temperature Controller) 를 사용하여 수행됩니다. 이를 통해 photoresist 레이어가 올바르게 치료되고 개발됩니다. 그 에 더하여, "오븐 '은 고도 의 냉각기 를 갖추고 있는데, 이것 은 과열 을 안전 하게 제거 하고, 온도 를 원하는 수준 으로 빠르게 되돌려 준다. 로봇 암 (robotic arm) 은 챔버 (chamber) 로 옮겨 놓을 때 물체의 정확하고 안전한 위치를 보장하도록 설계되었습니다. 이렇게 하면 매우 정밀하게 처리할 수 있으며, 개체 (object) 처리를 최소한의 손상으로 가장 최적의 방식으로 처리할 수 있습니다. 기계의 장기적인 안정성과 안전성은 독자적인 처리 프로그램, 내장 진단 기능, 유지 보수 데이터 로깅 (Maintenance Data Logging), 통합 안전 모니터링 도구 (Integrated Safety Monitor Tool) 를 통해 강화됩니다. 이들 모두 는 "에셋 '이 순조 롭게 실행 되어야 하며, 그 문제 가 생산 에 영향 을 미치기 전 에 문제 를 신속 히 식별 하고 해결 할 수 있다. 무엇보다도 ACT 8의 TEL PHP Oven은 반도체 장치 제작에서 귀중한 도구입니다. 고급 기능, 견고한 디자인, 정밀도 기능을 통해 photoresist 레이어를 안정적이고 효율적으로 처리할 수 있습니다.