판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON PDS-BX02E0954 #293658856

TEL/TOKYO ELECTRON PDS-BX02E0954는 기판에 패턴을 정확하게 마스킹 또는 재생산 할 수있는 포토 esist 장비입니다. 이 제품은 고도의 정밀도 이미징, 해상도, 처리량 측면에서 탁월한 성능을 제공합니다. 이 시스템에는 3 가지 주요 구성 요소 (전자 빔 발전기, 레이저 광원 및 공정 챔버) 가 있습니다. 전자 빔 발전기 (electron beam generator) 는 빔 경로를 따라 객관적인 렌즈에 의해 초점을 맞추고 지시되는 빔을 생성합니다. 레이저 광원은 패턴 작성에 사용되는 레이저 광을 생성합니다. 공정 챔버에는 환경 제어 장치 (environmental control unit) 가 포함되어 있어 공정 챔버가 깨끗하고 진공을 단단히 유지합니다. TEL PDS-BX02E0954에는 매우 효율적인 이미징 머신이 있어 J-Type 렌즈를 사용하여 프로세스 효율성을 높입니다. 이 렌즈는 전체 기판에서 전자 빔의 균일 한 영상을 촉진하여 고해상도 패턴 (high-resolution pattern) 을 생성합니다. 또한, TOKYO ELECTRON PDS-BX02E0954는 초당 최대 5 백만 메가 픽셀을 처리 할 수있는 특별히 설계된 컴퓨터 제어 장치를 사용합니다. 이는 패턴 쓰기 속도와 정확도를 크게 향상시킵니다. PDS-BX02E0954는 Hi-K 및 Copper 상호 연결 응용 프로그램에 적합하며 통신 및 메모리 생산에 성공적으로 사용되었습니다. 패턴 다운 배율 조정, 컨투어 수정, 패턴 압축, 이미지 패턴 최적화, 접촉 구멍 채우기 등 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 또한이 도구는 이중 패턴화 (double patterning) 및 전자 빔 직접 쓰기 (electron beam direct write) 와 같은 최신 리소그래피 디자인의 작동을 지원합니다. 이 자산은 또한 혁신적인 온도 조절 모델 (temperature control model) 을 통해 패턴 프로세스의 반복 가능한 결과와 정확성을 보장합니다. 이 장비는 각 노출을 최적화하기 위해 프로세스 매개 변수를 적극적으로 조정합니다. 또한, 이 시스템은 최소한의 전력 소비를 활용하여 대규모 운영 운영을 위한 경제적인 선택입니다. TEL/TOKYO ELECTRON PDS-BX02E0954는 매우 복잡하고 상세한 회로 구조를 만들기 위해 탁월한 정밀도 및 고급 기술을 제공합니다. 최첨단 디바이스 생산을 위한 경제적인 솔루션으로 대용량 (대용량) 생산에 적합합니다.