판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON / NEXX Stratus S300 #9302388

TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Stratus S300은 반도체 기판에서 고품질 광사 패턴을 생산하도록 설계된 정밀 석판화 장비입니다. 빠른 속도와 정확도로 복잡한 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 장치를 만드는 효율적인 방법을 제공합니다. TEL Stratus S300에는 멀티 빔 리소그래피 헤드 및 4 포인트 고해상도 스테퍼 모터가 포함되어 있으며, 멀티 홀 노출 기능 (옵션) 을 갖춘 고정밀 기판 스테이지가 있습니다. 이 시스템은 KrF 엑시머 레이저 빔을 사용하여 0.18 미크론 해상도를 제공하며, 노출 파장은 248nm로 설정됩니다. 고유한 자체 정렬 기능을 통해 모든 노출 작업이 올바르게 정렬됩니다. 이 장치는 다중 계층 스캐닝 (multilayer scanning) 메커니즘을 사용하여 높은 정확도와 빠른 제품 처리율을 보장합니다. 최대 8 인치 크기의 기판을 최대 8 개 수용 할 수 있으며, 최대 기판 두께는 0.6mm입니다. 이 기계는 1.2mm 평방 면적에 대해 2.4 초/샷의 초고속 노출 속도를 제공합니다. 또한 카세트 로더 (Cassette Loader) 의 기판을 올바른 방향과 위치에서 공급하는 고성능 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 도 포함되어 있습니다. NEXX Stratus S300은 높은 정확도 패턴 생성과 향상된 패턴 균일성, 이미지 해상도 및 높은 처리율을 결합합니다. 또한, 노출 조건과 시스템 성능을 실시간으로 최적화하는 고급 프로세스 제어 툴을 제공합니다. 자산은 기판 불균일성을 줄이고 노출 매개변수를 최적화하여 환경 영향 최소화, 뛰어난 이미징 품질, 확장 실행에 대한 반복 가능한 결과 (repeatable result over extended run) 를 보장 할 수 있습니다. 전체적으로 TOKYO ELECTRON Stratus S300은 혁신적이고 매우 정확한 포토리스 스트 (photoresist) 모델로, 최소 퓨즈 또는 폐기물로 고품질 포토레스 패턴을 생성 할 수 있습니다. 첨단 기능은 속도와 정확도를 갖춘 복잡한 마이크로일렉트로닉 (microelectronic) 장치를 생산하는 데 이상적인 도구입니다.