판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON / NEXX Stratus S300 #293748593
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NEXX SYSTEMS Stratus S300은 PCR 및 기타 연구 및 제조 공정에 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 도구 역할을하는 포토리스 스틱 사진 촬영 장비입니다. 이 시스템은 자외선에서 가까운 IR에 이르는 다양한 파장으로 작동하여 SiC, SiO2, SiN, photoresist 등 다양한 물질을 노출하고 처리하는 데 필요한 에너지의 양을 줄입니다. 커다란, 균일 한 시야와 정밀도 (precision) 의 단계가 특징이며, 응용 프로그램에 대한 정확한 정렬 및 이동을 제공합니다. S300 장치는 독점 빔 스캐닝 (beam scanning) 기술을 통합하여 뛰어난 이미지 생성, 해상도 및 반복 기능을 제공합니다. 이 기계는 또한 실시간 프로젝트 피드백 (feedback) 과 위치 제어 (position control) 를 활용하여 정렬 및 노출의 정확성을 보장합니다. 가변 NA (가변 NA) 또는 수치 조리개 (0.7) 를 가진 효과적인 등급 광학은 짧은 기간 내에 노출 시간을 유지하면서 뛰어난 광도와 균일성을 제공합니다. Stratus S300에는 고정밀 자동 초점, 노출 강도 및 용량 제어, 스테이지 자동화 기능이 포함되어 있습니다. 이러한 기능은 cavity, pattern location, film, depth resolution, line width control 등 다양한 응용 프로그램에 대해 가장 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 탁월한 UV 소스 안정성과 함께 NEXX SYSTEMS Stratus S300은 반복 가능한 기능 재생산 및 온도 변화에 대한 저속 반응으로 타의 추종을 불허하는 프로세스 성능을 제공합니다. 이 도구는 또한 이중 레이저 블라인딩 (blinding) 및 프레임 잠금 (frame lockout) 과 같은 통합 안전 기능이 제공되어 실험실 사용에 이상적입니다. 또한, 에너지 소비를 최소한으로 유지하는 에너지 절약형 다크룸 디자인으로 설계되었습니다. Stratus S300 은 다양한 소프트웨어 솔루션과 호환되며, 다양한 애플리케이션에 맞게 구성할 수 있습니다. 이를 요약하기 위해 NEXX SYSTEMS Stratus S300은 PCR 및 기타 연구 및 제조 공정 등 다양한 응용 분야에 적합한 신뢰할 수 있고, 균일하며, 비용 효율적인 포토리스 사진 해설을 제공합니다. 실시간 피드백 (feedback) 과 광 기술 (optical technologies) 은 우수한 해상도와 반복성을 제공하며 노출 시간을 짧게 유지합니다. 통합 된 안전 기능과 다크룸 디자인으로 실험실 사용에 이상적입니다.
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