판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON / NEXX Stratus 200 #9187451

TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Stratus 200 Equipment는 현재 반도체 및 평면 패널 디스플레이 제조와 같은 다양한 산업 응용 분야에 사용되는 고성능 photoresist 시스템입니다. TEL Stratus 200 Unit은 진공 웨이퍼 로더, 기판 전송 로봇, 진공 웨이퍼 핸들러 및 리소그래피 도구, 다양한 주변 장치 구성 요소로 구성됩니다. 진공 "웨이퍼 로더 '는" 기판' 을 운반 하여 균일 한 압력 환경 에서 유지 하는 데 사용 되어, 정확 한 사양 을 충족 시킨다. 이 장치는 스테퍼 모터에서 실행되며 최대 50 개의 8 인치 웨이퍼를 유지하도록 프로그래밍 할 수 있습니다. 기판 전사 "로봇 '은" 로우더' 로부터 기판 을 집어 리소그래피 '도구 로 수송 하는 데 사용 된다. 이 로봇은 6 도의 자유도를 가지고 있으며 브러시리스 (brushless) DC 모터 머신으로 인해 매우 정확하고 안정적입니다. 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 가볍고 견고한 디자인이 있습니다. 진공 웨이퍼 핸들러는 균일 한 압력 환경에서 최대 300 개의 8 인치 웨이퍼를 보관하는 데 사용되는 진공 장치입니다. 이 장치 는 "알루미늄 '으로 구성 되어 있으며, 기판 을 정확 하고 일관성 있게 측정 하기 위해 독점적 인 측정 도구 를 사용 한다. 석판 도구는 NEXX Stratus 200 자산의 주요 구성 요소입니다. 이 도구는 나노 정밀도를 위해 설계되었으며 매우 정확하고 안정적인 광학 모델을 갖추고 있습니다. 첨단 이미징 시스템 (Advanced Imaging System) 과 정교한 소프트웨어를 사용하여 다양한 애플리케이션의 성능을 극대화합니다. 또한 고급 마스크 정렬 및 제어 및 자동 노출 기술이 특징입니다. 스트라투스 200 장비 (Stratus 200 Equipment) 는 다양한 산업의 정밀 요구를 충족시킬 수있는 신뢰성이 높은 시스템입니다. 정교한 구성 요소, 우수한 구성 요소, 고급 이미징 (advanced imaging) 및 소프트웨어 (software) 의 조합으로 포토리스 처리 (photoresist processing) 를위한 최고의 솔루션 중 하나입니다.