판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark #9363451

TEL Markis는 최대 정밀 리소그래피 성능을 제공하도록 설계된 '포토 esist' 장비입니다. 즉, 박막 재료를 처리할 때 가능한 가장 높은 정확도와 유연성을 사용자에게 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 TOKYO ELECTRON에 의해 개발되었으며 반도체 장치 제조와 관련된 석판화 작업을 위해 특별히 설계되었습니다. 이 photoresist 단위는 빛을 사용하여 박막 재료를 처리하는 전문 기술을 사용합니다. 고급 이미징 광학은 레이저 리소그래피 (laser lithography) 를 위해 특별히 개발되었으며, 서브 미크론 이미징 성능은 오늘날 가장 뛰어난 성능 중 하나입니다. 이렇게 하면 프로세스의 치수 정밀도가 필요한 레벨 (level) 내에서 유지되도록 할 수 있습니다. 이 외 에도, 기계 가 사용 하는 광원 은 질 이 뛰어나며, "레이저 '의 출력력 도 매우 정확 하다. TEL/TOKYO ELECTRON Markalso는 다양한 박막 레이어 재료에 대한 최적의 쓰기 조건을 가능하게하는 독특한 기능 세트를 특징으로합니다. 석판화 광학 (lithography optics) 을 완벽하게 정렬하여 복잡한 패턴조차도 선명한 선명도로 재생되도록 해주는 고급 자동 초점 도구 (advanced auto-focus tool) 가 있습니다. 다용도 스테이지 에셋을 사용하면 기판 및 도구를 더 쉽게 정렬할 수 있으며, 스테이지 핀포인트 모듈 (Stage Pinpointing Module) 은 작은 부분의 박막을 정렬할 때 뛰어난 성능을 보장합니다. TEL Markalso에는 작업 제어 모듈 (Job Control Module) 이 있어 사용자가 쉽게 작업을 설정하고, 원하는 매개변수를 선택하고, 다양한 리소그래피 관련 작업을 수행할 수 있습니다. 생산성 향상, 처리량 향상 및 신뢰할 수 있는 프로세스를 제공합니다. 이와 함께 작업 편집기 (Job Editor) 와 패턴 검색 (Pattern Search) 과 같은 강력한 소프트웨어 도구를 사용하여 사용자가 리토그래피 프로젝트를 원활하게 만들고 제어할 수 있도록 지원합니다. 전반적으로, TOKYO ELECTRON Markis는 뛰어난 정확성과 유연성을 가진 박막 재료의 뛰어난 충실도 리소그래피를 가능하게하는 고도의 포토 esist 모델입니다. 고급 옵틱 (optic) 과 안정적인 레이저 광원 (Laser Light Source), 뛰어난 자동 초점 장비, 간편한 소프트웨어 도구를 통해 고품질의 포토레지스트 레이어를 빠르게 생산하는 데 필요한 성능과 사용 편의성을 제공합니다.