판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9257602

ID: 9257602
빈티지: 1997
System 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz (TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz) 는 자외선에 노출되어 기판의 표면을 패턴 화 할 수있는 포토 esist 장비입니다. TEL MARK-VZ에는 표면을 패턴화할 때 정확하고, 유연하며, 사용 편의성을 높일 수 있는 기능이 있습니다. 다른 포토 esist 시스템과 구별되는 TOKYO ELECTRON MARK V-Z의 주요 기능 중 하나는 PTRS (Pattern Two Rasters Simultaneously) 기능입니다. 이 기술을 통해 사용자는 노출 정확도를 유지하면서 기판에서 2 개의 패턴 (연속적으로, 차례로, 동일한 기판) 을 캐스팅 할 수 있으며, 기판에서 뛰어난 이미지 품질을 생성 할 수 있습니다. 도쿄 전자 마크 Vz (TOKYO ELECTRON MARK Vz) 에는 넓은 자외선 스펙트럼의 노출로 정확한 패턴화를 보장하기 위해 고해상도 레이저 광원이 포함되어 있습니다. 이 시스템은 350nm에서 400nm 사이의 광범위한 노출 파장을 제공하며, 고정밀도, 광전자 위치 장치 (optoelectronic positioning unit) 를 사용하여 패턴을 정확하게 표적하고 배치합니다. 이렇게 하면 여러 기판을 패턴화할 때 패턴이 드리프트 또는 이동되지 않습니다. 또한, MARK Vz에는 레이저 광원 외에도 현미경 유형의 이미지 프로젝션 머신이 있어 노출 전후 패턴에 대한 자세한 광학 검사 (Optical Inspection) 를 수행 할 수 있습니다. 이를 통해 패턴 프로세스의 결함을 쉽게 식별 할 수 있습니다. MARK V-Z는 또한 보호 프로세스 (Protective Coverhouse Tool) 와 같은 고급 안전 기능을 제공하여 패턴화 과정에서 UV 빛 및 화학 물질로부터 보호 할 수 있습니다. 마지막으로, 이 자산에는 간편한 액세스 유지 보수 (maintenance) 구성 요소가 포함되어 있어 일상적인 유지 보수 검사를 수행할 수 있습니다. 여기에는 최적의 장비 성능을 방지하는 잔해 또는 차단 (blockage) 을 지울 수있는 자동 클리닝 모델이 포함됩니다. 텔/도쿄 전자 마크 V-Z (TEL/TOKYO ELECTRON MARK V-Z) 는 마이크로 리토 그래피, 마스크 제작 및 광 중합체 인쇄를 포함한 다양한 응용 분야에 적합한 신뢰할 수 있고 직관적이며 유연한 포토 esist 시스템을 제공합니다. PTRS 기능, 고해상도 레이저 광원, 자동 안전 구성 요소를 갖춘 TEL/TOKYO ELECTRON MARK-VZ는 정밀 패턴화 및 검사를위한 강력한 도구입니다.
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