판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9226379
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz는 반도체 웨이퍼의 고정밀 처리를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 공차 (tight tolerance) 와 반복 가능한 결과로 매우 정확한 에칭을 제공 할 수있는 고급 시스템입니다. 이 장치 는 "와퍼 '를 입히기 위해 특수 한 광물질" 필름' 을 사용 하는 액체 침수 광학 기계 를 기초 로 한다. "포토레지스트 '는 마치 보이지 않는" 마스크' 처럼 작용 하여, 빛 "에너지 '가 기본" 실리콘' 층 에 영향 을 주지 않고 노출 및 식각 과정 을 위해 표면 의 원하는 영역 에 도달 할 수 있게 한다. TEL MARK-VZ 도구는 정확한 패턴 정렬을 위해 2 개의 독립적 인 선형 스테이지 플래텐을 갖추고 있으며, 고강도 자석과 함께 사용하면 부드럽고 신뢰할 수있는 동작을 보장합니다. 고밀도 제어는 0.5 미터의 에치 깊이를 허용하며, 넓은 지역에서 반복 할 수 있습니다. 최적의 성능을 위해, 통합 레이저 할당 에셋은 다양한 모양과 크기의 여러 웨이퍼 에칭 (wafer etching) 작업을 허용합니다. 이 모델에는 고해상도 2.5 인치 모니터와 기울기/회전 마운트가 장착되어 있어 가시성이 향상되었습니다. 대용량 9.7 인치 터치 스크린을 통해 유연한 작동 및 데이터 입력이 가능합니다. 표준 200mm 및 비표준 75mm 웨이퍼를 모두 허용하는 여러 웨이퍼 홀더를 사용할 수 있습니다. 이 장비에는 최대 60 ° C의 온도를 유지하면서 장치를 조건화하는 효율적인 냉각 시스템 (cooling system) 이 포함되어 있습니다. 이 기계는 또한 안전 표준 개선을위한 낮은 전기 전류 판독값을 제공합니다. 효과적 인 반복성 과 정확성 을 보장 하기 위해 이 "도구 '의 설계 와 구성 을 주 의 깊이 고려 해 왔다. 이 자산은 또한 고급 광학 이미징 기술 (Optical Imaging Technology) 을 통해 안정적이고 효과적인 속도를 유지하면서 해상도를 높일 수 있습니다. 도쿄 전자 마크 V-Z (TOKYO ELECTRON MARK V-Z) 는 정밀 반도체 웨이퍼를 생산하기 위해 최적의 정확성과 반복성을 갖춘 고도의 포토 esist 모델입니다. 반도체 (반도체) 업계의 다양한 응용프로그램을 위한 이상적인 장비인 "고급 (advanced) '과 우수한 성능을 자랑한다.
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