판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9221713

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz는 반도체 생산에서 포토 마스크 노출 및 에칭을 위해 설계된 동급 최고의 고정밀 '포토 esist' 장비입니다. 마이크로 일렉트로닉스 및 광학의 회로 이미징 및 패턴화에 사용됩니다. 이 시스템에는 금속, 고분자, 유기농, 도자기 등 다양한 기판을 처리하기위한 마이크로 옵티컬 및 프로젝션 이미징 시스템이 장착되어 있습니다. 기계는 0.05mm 크기의 기판을 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 고해상도 카메라를 통합하여 기판 곡률 (curvature) 을 감지하고 조정하여 각 노출이 정확하고 일관성을 보장합니다. 이 기계는 균일 하고 고속 UV 레이저 스캐너와 레이저 빔의 정확한 정렬을 위해 광학 광학 현미경을 갖추고 있습니다. 이 기술을 통해 기계는 노출 용량 및 인쇄 품질을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 도구에는 고속 자동 웨이퍼 처리 자산도 있습니다. 이 모델은 Xaxis 및 Y축 모두에서 기판을 정확하게 정렬하여 동급 최고의 노출 균일성을 달성 할 수 있습니다. 장비에는 마스크 클리닝 시스템 (mask cleaning system) 이 장착되어 있어 노출 과정에서 먼지나 다른 입자가 마스크 또는 기판을 오염시키지 않도록 합니다. 이 장치는 고급 알고리즘 (advanced algorithms) 을 사용하여 잠재적 오염 물질을 찾아서 식별하고 기판에서 제거합니다. 이 기계는 또한 개발 공정의 정확성을 보장하기 위해 사용되는 개발자 (developer) 의 양을 제어 할 수있는 매우 정확한 개발 도구 (developing tool) 를 갖추고 있습니다. 또한 이전에 개발 된 패턴을 최대 400,000 개의 이미지를 저장할 수있는 이미징 라이브러리 (Imaging Library) 가 있습니다. 마지막으로, 자산은 도량형 서비스 (metrology services) 를 제공 할 수 있으며, 이는 노출 된 저항이 원하는 두께에 있고, 개발 된 저항이 일관된 패턴 품질을 특징으로합니다. 즉, 이미징을 통해 생산되는 디바이스가 가장 높은 품질을 갖도록 하는 데 도움이 됩니다.