판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9221712
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz는 마이크로 전자 부품 개발 및 생산을위한 최첨단 포토 esist 장비입니다. 효율적이고 경제적인 방식으로 빠르고 안정적인 생산이 가능합니다. TEL MARK-VZ는 고급 사진 정렬 기술, 고정밀 리소그래피, 최고급 자동화 등 다양한 기능을 제공합니다. 고급 photo-aligner 기술을 사용하면 sub-micron 해상도로 더 높은 정확도의 웨이퍼 포지셔닝 및 등록이 가능합니다. 리소그래피 시스템에는 더 세밀한 구조와 세부 사항을 가진 프로세스를 가능하게하는 높은 동적 범위 (dynamic range) 기능이 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK V-Z가 제공하는 자동화를 통해 미세 패턴, 서브 미크론 크기 프로세스, 고순도 재료 에칭과 같은 프로세스를 빠르고 효율적으로 수행 할 수 있습니다. 또한 MARK Vz 는 운영 모니터링, 새로운 레시피 개발, 장치 제어 등에 사용할 수 있는 포괄적인 소프트웨어 패키지를 갖추고 있습니다. 이 소프트웨어는 정확한 패턴 인식, 수동 프로세스 자동화, 사용자 지정 레시피 작성 기능을 제공합니다. 또한 데이터 분석 및 피드백을 통해 프로세스 최적화에 대해 지능적인 의사 결정을 내릴 수 있습니다. TEL MARK V-Z 는 유연한 모듈식 설계를 통해 운영 라인과 자동화에 매우 적합합니다. 가공소재의 고속 조작이 가능한 로봇암 (robot arm) 은 처리량을 극대화하고 비용을 절감한다. 또한, 고급 시력 시스템은 결함을 감지하고 필요에 따라 조정할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK-VZ는 최첨단 반도체 등급 완전 자동 습식 공정을 사용합니다. 고온/압력 (high temper/pressure) 을 활용하고 화학적으로 도움을 주는 에칭 (etching) 기술을 활용하여 최고의 화질 이미지와 패턴을 달성하기 위해 훌륭한 방식으로 재료를 에치합니다. 고속, 고해상도 에칭 기능을 통해 최신 기능을 갖춘 설계에 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 마지막으로 TEL/TOKYO ELECTRON MARK V-Z는 고정밀 장치 측정 및 결함 탐지가 가능합니다. 강력한 비전 시스템을 통해 다양한 각도에서 빠른 이미지를 얻을 수 있습니다. 비전 시스템은 빠르고 안정적인 방법으로 서브 미크론 해상도에서도 결함을 감지, 식별, 찾을 수 있습니다. 요컨대, TOKYO ELECTRON MARK Vz는 다양한 기능과 이점을 제공하는 고도의 포토레지스트 머신입니다. 고급 사진 정렬 기술, 고정밀 석판화, 자동화, 소프트웨어 패키지, 모듈식 디자인 및 비전 시스템은 마이크로 일렉트로닉 구성 요소 생산에 매우 적합합니다. 완전하게 자동화된 습식 공정 (wet process) 과 매우 정밀한 장치 측정 및 결함 탐지는 고품질 생산에 이상적인 선택입니다.
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