판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9206244
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텔/도쿄 전자 MARK Vz (TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz) 는 고정밀도 및 고정밀도 광석기 처리를 위해 완벽한 솔루션을 제공하는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer), 유리 (glass), 플라스틱 (plastic) 과 같은 다양한 기판에 고급 패턴을 만드는 매우 정확한 나노 각인 기술을 갖추고 있습니다. 이 장치는 높은 처리율을 유지하면서, 우수한 지형의 재생성 가능한 레이어를 제공합니다. 이 기계는 광범위한 노출 매개변수 (Exposure Parameter) 를 제공할 수 있으므로 특정 프로세스 요구사항에 가장 적합한 노출 매개변수 (Exposure Parameter) 를 적용할 수 있습니다. 이 도구의 고급 이미징 (advanced imaging) 기능을 사용하면 photoresist로부터 왜곡되지 않고 정확한 이미지를 얻을 수 있습니다. 최신 광학 영상 자산 (Optical Imaging Asset) 과 정확한 분석 능력을 갖추고 표면 특성을 정확하게 파악합니다. 또한 온라인 결함 검사 (Online Defect Inspection) 및 프로세스 자동 최적화 소프트웨어 (Automatic Process Optimization Software) 를 포함한 정확한 프로덕션 제어 시스템을 통해 보다 효율적이고 유연한 프로덕션 모델을 제공합니다. 이 장비를 사용하여 여러 레이어, 여러 크기의 복잡한 패턴을 만들 수 있습니다. 또한 공차 및 반복 가능성이 높은 중요한 컴포넌트를 생성할 수 있습니다. 또한 단기 샘플 처리 시간과 낮은 전력 소비로 빠른 사진 각인 프로세스가 특징입니다. 이 시스템은 교정, 인덱싱, 이미지 센터, 레티클 홀드, 에지 포인트 감지, 프로그램 편집 및 데이터 전송과 같은 자동 기능의 조합으로 구동됩니다. 또한, 이 장치에는 광전 (photoreticle) 의 성능 수준, 온도 및 먼지 입자의 변동 (fluctuation) 으로부터 보호하기 위해 고급 하드웨어가 장착되어 있습니다. 이 기계는 또한 온도 변화 환경에서 서브-앵스트롬 (sub-angstrom) 레벨 동작을 감지 할 수있는 정밀 이미지 포지셔닝 모니터를 갖추고 있습니다. TEL MARK-VZ (TEL MARK-VZ) 는 정교하고 정확한 이미징 및 리소그래피 프로세스가 필요한 반도체 및 전자 제조업체에 완벽한 솔루션을 제공하는 정교한 포토레시스트 (photoresist) 처리 도구입니다. 탁월한 지형 (tography) 으로 신뢰할 수 있는 성능을 제공하여 원하는 결과를 빠르고 안정적으로 얻을 수 있습니다.
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