판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9206229

TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz
ID: 9206229
웨이퍼 크기: 4"
Clean tracks, 4".
TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz 장비는 정확하고 신뢰할 수있는 포토 esist 솔루션을 제공하는 고급 기술을 갖춘 최첨단 포토 esist 처리 시스템입니다. 이 장치는 저렴한 가격과 짧은 리드 타임 (lead time) 으로 제품을 제조할 수 있도록 설계되었습니다. 이 기계는 광범위한 포토레지스트 (photoresist) 옵션을 지원하는 넓은 영역 처리 플랫폼을 기반으로합니다. 여기에는 최적의 photoresist 처리에 최적화된 필름 및 챔버 컴포넌트 (chamber component) 와 같은 부품이 포함됩니다. 또한 고해상도 이미징 에셋을 제공하여 wafer-to-wafer unifority (와퍼 투 웨이퍼) 및 수익률을 보장합니다. TEL MARK-VZ에는 안정적인 photoresist 처리를 위해 정확한 레이어 두께 모니터가 장착되어 있습니다. 이 모니터는 photoresist 레이어의 두께를 측정하고 정확한 습식 프로세스 제어를 가능하게 합니다. 또한 입력 매개변수에 따라 photoresist 레이어 두께를 자동으로 설정하는 자동 프로세스 제어 모델 (automated process control model) 이 특징입니다. 이 장비는 또한 고급 레이저 리소그래피 (lithography) 도구를 사용하여 포토 esist 레이어에 정확한 패턴을 만듭니다. 이 도구는 고화질 패턴 정확도를 보장하며, 기존 리소그래피 기술보다 더 복잡한 기능을 만들 수 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK V-Z 포토레지스트 (photoresist) 시스템은 다양한 노출 시간 설정에 대해 일정한 해상도 값을 유지할 수 있는 동적 해상도 기능을 갖춘 뛰어난 오픈 루프 (open-loop) 해상도 기능을 제공합니다. 또한 최고 수준의 처리량을 위한 높은 정확도와 빠른 정렬 (fast alignment) 기능을 제공하는 고급 정렬 장치 (advanced alignment unit) 를 제공합니다. 이 기계는 또한 포토레스 레이어를 정렬하고 분리하기위한 고속 분류기 (high-speed sorter) 를 갖추고 있습니다. 이 기능은 고품질 결과를 제공하면서 정렬 프로세스를 단순화하는 데 도움이 됩니다. MARK V-Z photoresist 도구는 신뢰성이 높고 효율적인 photoresist 솔루션입니다. 최대한의 유연성, 신뢰성, 비용 대비 효과를 제공하면서 가장 까다로운 석판화 (lithography) 요구 사항을 충족할 수 있도록 설계되었습니다. 고급 기능, 뛰어난 성능, 다양한 옵션을 갖춘 MARK Vz 는 photoresist 처리에 이상적인 선택입니다.
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