판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9148324

TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz
ID: 9148324
Coaters & developers.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz는 반도체 제조에 사용되는 업계 최고의 포토 esist 장비입니다. 고급 기술로 인해 고급 포토 마스크 (photomask) 의 정확하고, 정확하며, 반복 가능한 패턴 이미징이 가능합니다. TEL/TOKYO TEL MARK-VZ는 포토 esist 코팅, 회전 및 패턴 이미징에 사용되는 고화질 이미징 도구입니다. 고도의 알고리즘과 광학을 사용하여 포토 마스크 (photomask) 의 패턴을 포토 esist 코트에 정확하게 정렬합니다. 이 시스템은 고해상도 (high resolution) 이미지를 얻을 수 있으며, 이는 미크론의 일부까지 제어할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON/TOKYO ELECTRON MARK V-Z는 최대 3000 RPM을 회전 할 수있는 공기 베어링을 사용하여 특허를받은 스핀 코팅 방법을 사용합니다. 이 방법은 매우 얇고, 등각 및 균일 한 코팅에 적합하여 고해상도 이미징을 제공합니다. 이 장치는 최대 1000 x 1000 mm 크기의 대형 기판을 코팅 할 수 있습니다. 기계는 또한 레시피를 정확하게 반복 할 수 있으며, 레시피를 명확하게 정의하고 유지 할 수 있습니다. 이를 통해 코팅이 정확하고 정확하게 복제 될 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON/TOKYO MARK-VZ의 광 소린도 매우 정확하며 미크론 또는 서브 미크론 패턴으로 정확하게 표적 할 수 있습니다. 이를 통해 패턴화와 이미징이 저항할 때 정확도, 정확도가 높아집니다. TEL/TOKYO MARK V-Z (TEL/TOKYO MARK V-Z) 는 성능을 극대화하도록 설계되었으며 사용 및 이해가 간편한 사용자 친화적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 활성화됩니다. 즉, 모든 사용자가 이 툴을 사용할 수 있게 해 주며, 가장 복잡한 프로세스를 신속하고 정확하게 수행할 수 있도록 합니다. 결론적으로, TOKYO ELECTRON/TOKYO ELECTRON MARK Vz photoresist 자산은 photomask 제조 및 이미징 공정의 정확성과 정확성을 위해 설계된 라인 모델의 상단입니다. 고급 회전 및 코팅 알고리즘을 사용하여 균일하고 고해상도 패턴을 제공합니다. 이 장비는 사용하기 쉽고 다양한 어플리케이션 (고해상도 이미징 등) 에 사용할 수 있습니다.
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