판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9148232
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ID: 9148232
빈티지: 1996
Coater & developer
3D (E2 nozzle+Back rinse)
7HP
3Col
Right
Stand alone
1996 vintage.
텔/도쿄 일렉트로닉 마크 Vz (TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz) 는 마이크로 일렉트로닉스 및 나노 기술 산업에 사용되는 박막 스핀 코팅 및 영상을 위해 설계된 완전 자동화 된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 Precision Automated Spin Coater와 Automated Imager의 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. Precision Automated Spin Coater는 사진 소재의 박막을 반도체 재료에 스핀코팅하도록 설계된 고정밀 도구입니다. 이 기계는 사진 연주자를 포함하는 회전 컵을 특징으로합니다. 매우 정확하고 반복 가능한 결과를 보장하는 PLC (programmable logic controller) 에 의해 제어됩니다. PLC는 회전 속도, 지속 시간, 회전 수 등의 매개변수를 프로그래밍하는 데 사용됩니다. 이를 통해 사용자는 코팅을 사용자 정의하여 매번 일관되고 허용되는 결과를 얻을 수 있습니다. 자동 이미저 (Automated Imager) 는 코팅 된 기판의 자세한 이미지를 취하는 고해상도 이미징 장치입니다. 일련의 렌즈, 거울, 필터를 사용하여 필름을 디지털 이미징 플랫폼에 투영합니다. 이 기계는 노출 시간을 조정할 수 있으며 JPEG, TIFF, BMP 등 여러 형식으로 이미지를 캡처하도록 프로그래밍 할 수 있습니다. TEL MARK-VZ에서 캡처 한 이미지는 매우 정확하며 해상도는 최대 200nm입니다. TOKYO ELECTRON MARK V-Z photoresist 툴은 사용자가 스핀 코팅 및 이미징 요구를 충족하는 안정적이고 강력한 솔루션을 제공합니다. 고급 프로그래밍 기능은 매우 정확하고 반복 가능한 결과를 보장하는 반면, 강력한 이미징 (imaging) 자산은 박막 (thin film) 의 선명한 이미지를 캡처할 수 있습니다. 이 모델은 마이크로일렉트로닉스 (microelectronics) 또는 나노테크놀로지 (Nanotechnology) 산업의 모든 사람들에게 가장 뛰어난 자산입니다.
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