판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9148231

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz는 웨이퍼에 미세 조작 된 기능을 만들기 위한 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 조명과 투영 광학 (projection optics) 의 조합을 사용하여 정밀도와 정확도가 높은 기판에 고급 디자인을 노출 할 수 있습니다. 노출 장치는 40 미크론 해상도를 가지며 최대 200mm 크기의 기질을 노출 할 수 있습니다. TEL MARK-VZ는 에너지 민감성 광 측정제를 사용하여 기질을 노출시킵니다. 이 민감 한 물질 은 빛 의 노출 에 반응 을 나타내어, 기판 에 정확 한 "피쳐 '를 배치 할 수 있게 한다. 그런 다음, 이 광전자 (photoresist) 를 특수 개발자에서 처리하여 노출 된 광전자를 제거하여 기본 구조를 드러냅니다. TOKYO ELECTRON MARK V-Z에는 벡터 스캔, 접촉 인쇄, 동적 스캔 노출 등 다양한 노출 모드가 있습니다. 기판에서 고품질 구조를 생성하기 위한 다양한 옵션을 제공합니다 (영문). 또한, 이 기계에는 노출 중 피쳐를 정확하게 정렬하기 위해 고정밀 모션 툴 (high-precision motion tool) 과 광학 에셋 (optics asset) 이 장착되어 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON MARK-VZ (TEL/TOKYO ELECTRON MARK-VZ) 에는 노출 매개변수 및 피쳐를 프로그래밍하고 정확한 정렬을 위해 모션 모델을 제어 할 수있는 고급 소프트웨어 패키지가 있습니다. 이 장비는 또한 웨이퍼의 결함을 감지하고 고성능 제조 (HPM) 를 보장하는 이미지 검사 도구 (Image Inspection Tool) 를 갖추고 있습니다. MARK-VZ는 기판에서 미세 마비 된 구조를 생성하기위한 강력하고 고급 포토 esist 시스템입니다. 고해상도 (High-Resolution) 노출 기능, 정밀 모션 제어 기능, 고급 소프트웨어 기능을 갖춘 이 장치는 매우 정확하고 정확한 미세 구성 (Microfricated) 구조를 만들 수 있습니다.