판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9033680

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz는 마이크로 세공 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 특수 스캐너, 컨트롤러 및 photoresist 처리 챔버로 구성됩니다. 스캐너는 반도체 리소그래피 기술을 사용하여 감광 물질의 정확한 패턴을 가능하게합니다. 이 장치 는 "다이오드 레이저 '를 사용 하여 원통형" 렌즈' 를 통과 하여 고도 의 집중 광선 을 만들어 낸다. 광학 기계 를 사용 하여 "레이저 '광선 에 광물질 을 노출 시켜 원하는" 패턴' 을 만든다. 컨트롤러 장치에는 포토레시스트 (photoresist) 처리 세션을 설정하는 데 필요한 모든 기능이 포함되어 있습니다. 이 인터페이스에는 도구 구성, 노출 기간, 패턴화 속도 등 다양한 매개변수가 포함된 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 있습니다. 광전자 처리 챔버 (photoresist processing chamber) 는 자산의 주요 구성 요소이며 광전자의 건조 및 습식 처리를 위해 설계되었습니다. 포토 esist 물질의 노출에 대해 정확하게 제어 된 조건을 제공합니다. 노출 시간, 온도, 압력, 습도와 같은 다양한 조정 가능한 변수가 장착되어 있습니다. 또한 전자 압력 컨트롤 (Electronic Pressure Control), 자동 온도 모니터링 및 포토 esist 재료의 안전한 처리를 보장하는 일련의 내장 안전 메커니즘을 포함한 안전 기능도 갖추고 있습니다. TEL MARK-VZ는 마이크로 세공 응용 프로그램의 높은 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 산업 등급 (industrial-grade) 시스템에 비해 훨씬 높은 해상도를 지닌 고성능 이미징 기술을 제공하며, 장치 제작에 필수적인 다양한 포토레시스트 (photoresist) 프로세스를 용이하게 합니다. 이 모델은 MEMS (microelectromechanical system) 및 태양 광 시스템과 같은 반도체 응용 분야에 적합합니다.