판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #293828918

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz는 전자 빔 리소그래피 및 에칭 용 반도체 장치 제조에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 진공실, 셔터, 이온 총 및 광학 현미경으로 구성됩니다. 진공실은 높은 진공 환경을 유지하도록 설계되었습니다. 셔터 (shutter) 는 전자 총에서 빔을 분산시키는 데 사용되며, 이는 10 nm 이상의 해상도를 위해 미세 조정 될 수 있습니다. 이온 총은 챔버 청소 장치로도 포함되어 있습니다. 광학 현미경은 샘플을 이미지화하고 빔 스팟 (beam spot) 크기와 모양을 모니터링하는 데 사용됩니다. TEL MARK-VZ는 10 nm 이상의 해상도로 서브 미크론 기능을 고해상도로 직접 쓸 수 있습니다. 완전한 포토레시스트 패턴화 툴킷 (photoresist patterning toolkit) 을 통해 여러 레이어의 피쳐로 복잡한 패턴 모양을 생성할 수 있습니다. 패턴 특징은 1 유로의 정확도로 정렬 될 수 있습니다. 다중 채널 정렬 머신 (multi-channel alignment machine) 을 사용하면 높은 정확도로 서로 일치하도록 여러 패턴을 정렬할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK V-Z는 빠른 스캔 속도와 짧은 RF 펄스 시간으로 고속 전자 리소그래피를 지원합니다. 이 도구는 광학 마스크, 박막 트랜지스터, MEMS 장치, 집적 회로 (integrated circuit) 등의 다양한 응용 프로그램에서 사용할 수 있습니다. 특히 MEMS 장치용 고해상도 및 고속 패턴 작성을 제공합니다. 이 자산은 사용자 정의가 용이하며, 여러 응용 프로그램 및 재료에 사용할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK Vz는 장치 제작을위한 안정적이고 효율적인 포토 esist 모델입니다. 높은 처리량과 고해상도 패턴화를 위해 설계되었습니다. 이 장비는 복잡한 micro- 및 nanoscale 기능을 안전하고 정확하게 만들 수있는 고급 기능을 제공합니다. 다양한 디바이스 구성 애플리케이션에 적합한 사용자 지정 기능이 매우 뛰어납니다.