판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #293591400

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz는 반도체 및 포토 마스크 제작 프로세스에 사용하도록 설계된 완전 자동화 된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 보다 빠르고 정확한 프로세스 제어를 위해 5 축 로봇 스피너를 갖추고 있습니다. 로봇은 최대 1800 RPM까지 회전할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 처리 요구를 더욱 효과적으로 제어할 수 있습니다. 이 장치에는 자동 비전 머신 (automated vision machine) 이 내장되어 있으며, 추적 기술로 작업 표면에 photomask를 보다 정확하게 배치할 수 있습니다. 또한 [비전] 도구를 사용하면 에셋이 프로세스 레시피 매개 변수를 감지하여 보다 빠르고 정확한 프로세스 제어를 수행할 수 있습니다. TEL MARK-VZ 모델에는 고정밀 스피너 드라이브 (Spinner Drive) 가 있으며, 이는 포토 esist의 일관되고 심지어 증착률을 제공합니다. 이렇게 하면 전체 웨이퍼에 균일한 레이어 두께가 유지됩니다. 고정밀 스피너 드라이브 외에도, 장비에는 PLC를 통해 제어되는 정밀 스프레이어도 포함됩니다. 이 시스템에는 내장 이미지 분석 (BIST) 기능이 포함되어 있어 장치가 즉석에서 프로세스 매개변수를 조정할 수 있습니다. 이렇게 하면 더 큰 정확성과 프로세스 일관성이 보장됩니다. 이 시스템에는 여러 프로세스 모니터링, 피드백 및 제어 시스템도 포함되어 있습니다. 여기에는 온도 및 압력 표시기 (프로세스 진행 중 피드백 제공) 가 포함됩니다. 또한 포토 esist 제제에 대한 피드백을 제공하는 농도 모니터가 포함되어 있습니다. 마지막으로 TOKYO ELECTRON MARK V-Z 도구에는 프로세스 설정 및 모니터링을위한 사용자 인터페이스가 포함되어 있습니다. 이 사용자 인터페이스는 쉽게 작동할 수 있도록 설계되었으며, 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 신속하게 설정 및 모니터링할 수 있습니다. 또한 이 인터페이스는 프로세스 매개 변수에 대한 자세한 정보를 제공하며, 시간 경과에 따른 정확하고 일관된 결과를 보장합니다.