판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON MARK V8 #9142612

TEL / TOKYO ELECTRON MARK V8
ID: 9142612
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1992
Coater / Developer system, 8" 1992 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK V8은 반도체 제조 기술의 주요 혁신가 인 TEL이 생산 한 포토 esist 장비입니다. 마이크로일렉트로닉 회로 (microelectronic circuit) 와 같은 고체 장치 제작에 필요한 포토레시스트 코팅 (photoresist coating) 을 빠르고 정확하게 개발하도록 설계된 포괄적 인 도구 제품군입니다. TEL MARK V8 (TEL MARK V8) 시스템을 사용하면 의도한 디자인의 피쳐 크기와 저항 코팅을 정확하게 일치시킬 수 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK V8은 습식 또는 건식 화학 코팅, 평평한 기판의 광물질 스핀 코팅, 소프트 베이크, 노출 후 베이킹 및 에칭 등 다양한 프로세스를 갖추고 있습니다. 이 장치는 기판, 모니터링, 에지 제외 등의 다양한 정교한 자동화 도구를 자랑합니다. 또한 레이저 전원, 펄스 타임 (Pulse Time), 패턴 해상도 (Pattern Resolution) 등 다양한 프로세스 매개변수를 선택하여 성공적인 장치 제작에 필요한 사용자 정의성과 정밀도를 제공합니다. 마크 V8 (MARK V8) 은 기존 생산 라인에 통합 될 수 있으며, 시중의 대다수 사진기사와 호환된다. 회전 후, 저항 코팅 (resist coating) 은 패턴 모양의 피쳐 크기를 세밀하게 튜닝 할 수있는 독점 에칭 솔루션으로 개발된다. 이 시스템은 또한 많은 응용 프로그램에 대한 최고의 반복성 및 반복성 검사를 제공합니다. 이를 통해 고도의 재현성 (Reprodibility) 및 프로세스 제어 (Process Control), 매우 정확한 장치 구성의 핵심 측면이 가능합니다. 또한, TEL/TOKYO ELECTRON MARK V8은 염기 및 전기 부품 (예: 절연 재료 및 화학 유출 함유의 설치 가능한 오버플로 탱크) 에 대한 최신 안전 표준으로 설계되었습니다. 이 모든 구성 요소는 현대 반도체 산업의 요구를 충족시키는 효율적이고 신뢰할 수있는 포토레시스트 (photoresist) 도구를 더합니다.
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