판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V8 #293643504
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TEL/TOKYO ELECTRON Mark V8 Photoresist Equipment (TEL/TOKYO ELECTRON Mark V8 Photoresist Equipment) 는 강력한 디지털 패턴화 툴로 기업에서 매우 정확하고 정확하게 포토 마스크를 만들 수 있습니다. 반도체 장치, 디스플레이 및 기타 마이크로 일렉트로닉스 제품을 만드는 데 사용됩니다. 코어에서 TEL Mark V8은 고급 스테퍼 모터 (stepper-motor) 기술을 사용하여 포토 마스크 공백에 기능을 정확하게 배치하는 컨베이어 유형 시스템입니다. 이 장치는 최대 600mm 크기의 기판을 처리하기 위해 설계되었으며, 위치 정확도 0.3hm로 최소 패턴 크기 0.5 ~ 3äm를 실행합니다. TOKYO ELECTRON Mark V8 (TOKYO ELECTRON Mark V8) 은 광학 물질 (예: 실리콘) 의 일부를 선택적으로 제거하는 데 사용되는 공정 인 포토 마스킹 (photomasking) 을 사용하여 장치 제조에 필요한 패턴화 된 기판을 포토 마스크에 전달합니다. 이 기계는 다음과 같은 고급 마스킹 기술을 구현합니다. - I 라인 조명 (I-line illumination): 파장은 365nm이며 작은 피쳐를 패턴화하는 데 사용됩니다. - KrF Deep UV: 파장은 248nm이며 큰 기능을 패턴화하는 데 사용할 수 있습니다. -G 선 조명: 파장은 515nm이며 중간 크기의 피쳐 패턴화에 사용됩니다. - 광대역 조명 (Broadband illumination): 360 ~ 420 nm의 넓은 파장 범위를 가지며 다양한 피쳐 크기의 패턴화에 사용됩니다. -레이저 직접 이미징 (Laser direct imaging): 보이지 않는 레이저 빔을 사용하여 포토 마스크에 패턴을 직접 생성하므로 브로드캐스트 조명이 필요하지 않습니다. 마크 V8 (Mark V8) 은 품질과 반복성을 보장하기 위해 마스킹 프로세스를 개선하는 여러 가지 고급 기능을 제공합니다. 이러한 기능에는 듀얼 빔 정렬, 자동 정렬 교정, 에지 에지 다이 시프트 교정, 로우 라이트 이미지 인식 및 고해상도 이미징이 포함됩니다. 또한, 기계는 영화 개발, 마스킹, 에칭, 이미징 등 여러 처리 단계를 동시에 수행 할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 여러 고객의 요구에 맞게 여러 처리 (processing) 방법을 지원할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Mark V8은 빠르고 안정적인 고급 포토 마스크 제작이 필요한 사용자를 위해 설계되었습니다. 그 정확성과 반복성은 반도체 장치, 디스플레이 (display) 및 기타 복잡한 전자 장치 제조업체에 적합합니다. 이 툴은 다양한 기판 (기판) 을 처리할 수 있으며, 그 기능은 기업에게 복잡한 전자 기기를 만드는 효율적이고, 고품질의 방법을 제공합니다.
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