판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V8 #293643487

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V8 포토 esist 장비는 TEL이 설계 한 최첨단 석판 시스템입니다. 이 장치는 실리콘 웨이퍼의 반도체 제조 공정에 사용되도록 설계 및 제조되었습니다. 이 시스템은 독자적인 자동화된 프로세스 제어 소프트웨어 (Automated Process Control Software) 를 사용하며, 이를 통해 사용자는 다양한 기능을 제공하며 프로세스 매개변수를 면밀히 모니터링할 수 있습니다. 이것은 원격으로 액세스 할 수있는 내장 데이터 로거의 도움을받습니다. 따라서 사용자가 품질을 확인하고 wafer 에서 wafer 에 이르는 프로세스 일관성을 유지할 수 있습니다. 이 도구는 최첨단 200mm 카메라 자산을 사용하여 최대 16 인치의 대형 이미징 필드를 제공합니다. 이 카메라는 노출된 영역을 자세히 검사하기 위해 노출된 각 웨이퍼 (wafer) 의 고해상도 사진을 찍습니다. 이 모델에는 석판 처리 전, 중, 후에 측정 할 수있는 통합 레이저 측정 장비가 포함되어 있습니다. TEL Mark V8은 DUV photoresist, I-Line photoresist 및 248nm deep ultraviolet (DUV) photoresist를 포함한 여러 가지 photoresist 물질을 지원합니다. 이러한 재료는 높은 정확도의 자동 분배 시스템을 사용하여 웨이퍼에 적용됩니다. 원하는 재료를 적용하면 콘택트 및 투사 인쇄, 소프트 (soft) 및 하드 베이크 (hard bake), 노출 후 베이크 (post-exposure bake) 등 다양한 리소그래피 프로세스를 실행하도록 장치를 구성할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 뛰어난 공기 환경 제어, 입자 오염 감소, 초경량 진동 환경 (ultralow vibration environment) 을 제공하도록 설계되었습니다. 이것은 고급 공기 필터 도구와 고급 진공 제어 자산을 사용하여 달성됩니다. 이 모델은 잘 갖추어진 시설 (Facility) 과 전문 인력 (Knowledgable Staff) 이 있어야 제대로 작동할 수 있지만, 일상적인 기능을 자동화하여 시간과 인력을 줄일 수 있도록 설계되었습니다. 이 장비는 시간당 최대 200 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으므로 대용량 애플리케이션을 사용할 수 있습니다. 도쿄 일렉트로닉 마크 V8 (TOKYO ELECTRON Mark V8) 은 강력하고 다재다능한 포토 esist 시스템으로, 회로 기판 및 마이크로 일렉트로닉 부품의 대용량 생산에 필요한 기능과 기능을 제공합니다.