판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark IV #9282004

TEL/TOKYO ELECTRON Mark IV는 일반적으로 반도체 장치 제조에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 실리콘 웨이퍼, 화합물 반도체, 실리콘 온 인슐레이터 (SOI) 웨이퍼와 같은 광범위한 기판을 지원하는 플랫폼 불가지론 시스템입니다. 이 장치는 photomask, direct imaging, photolithography, thin-film deposition, etching 및 multichannel photolithography를 포함한 광범위한 응용 프로그램에서 사용하도록 설계되었습니다. TEL Mark IV photoresist 기계는 다양한 기판 크기에 맞게 구성 할 수있는 고해상도 광학 이미징 도구를 갖추고 있습니다. 자산에는 자동화된 전동식 스테이지가 장착되어 있어, 처리량이 많은 프로세스에 적합합니다. 또한 TOKYO ELECTRON Mark IV에는 조명 모델이 내장되어 있어 각도와 강도가 다른 기판을 조명할 수 있습니다. 장비의 주요 기능은 모듈 식 패키지이며, 특정 응용 프로그램으로 마크 IV (Mark IV) 를 사용자 정의하는 다양한 옵션을 제공합니다. 사용자는 온플랫폼 코팅 장치 (on-platform coating unit) 로 구성하여 저항 코팅 조건을 제어할 수 있습니다. 이 옵션에는 수동 및 자동 스핀 코트 프로세스 및 플라즈마 활성화 저항 프로세스도 포함됩니다. 또한, 선택적 스테이지 가열 단위를 사용하여 온도 조절을 달성 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Mark IV는 프로토타입 및 개발에 이상적인 빠르고 사용하기 쉬운 시스템입니다. 이 장치는 높은 정확도와 고속 이미징 (high-speed imaging) 을 통해 복잡한 기판을 사용하더라도 우수한 결과를 제공합니다. 그 에 더하여, "머신 '은 여러 가지 프로세스 에 맞게 구성 될 수 있으며, 이" 머신' 은 광범위 한 "응용프로그램 '에 사용 될 수 있다.