판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #9226205

TEL/TOKYO ELECTRON MARK II는 일본 전자 회사 TEL이 개발 한 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 포토리스트 (photoresist) 시장에서 사용 가능한 최고의 프로세스 반복성과 유연성을 제공하도록 설계된 반자동 (semi-automated) 풀 필드 이미징 기술입니다. 가장 포괄적인 포토레시스트 (photoresist) 시스템 중 하나이며 다양한 기능과 고급 기능을 제공합니다. 장치의 주요 구성 요소는 aligner, stage 및 resist station입니다. 정렬 (aligner) 은 웨이퍼 정렬 프로세스를 자동화하고 샘플 배치에 필요한 시간을 줄입니다. 또한 수동 정렬 프로세스 중에 발생할 수 있는 오류를 제거하여 처리량을 증가시킵니다. 스테이지에는 최대 처리량과 나노미터 해상도의 정확한 위치화를 위해 3 축 포지셔너가 통합되어 있습니다. 저항국 (Resist Station) 은 여러 저항을 동시에 분배 할 수있는 완전 자동화 된 기계로, 처리량이 높고 비용이 절감됩니다. 또한 TEL MARK II 도구에는 스캐너 (scanner) 및 도량형 (metrology) 기능이 포함되어 있어 필름 두께, 재료 유형, 지형 등 많은 매개변수에 대한 자세한 정량적 측정을 얻을 수 있습니다. 이 자산에는 전통적인 웨이퍼뿐만 아니라 MEMS 웨이퍼, 결합 된 웨이퍼, 박막 패턴 등 다양한 기판을 지원할 수있는 범용 홀더 (universal holder) 가 포함 된 웨이퍼 처리 모델이 있습니다. 또한 TOKYO ELECTRON MARK II는 사용자가 photoresist 프로세스를 모니터링, 분석 및 수정할 수있는 고급 컨트롤을 제공합니다. 장비의 단일 저전력 (Single-Low Power) 모드와 같은 고급 프로세스 제어 (Advanced Process Control) 를 사용하면 최저의 전원 수준에서 프로세스를 실행하여 에너지를 절약할 수 있습니다. 또한, 시스템은 고급 모니터링 (advanced monitoring) 기능을 제공하며, 이를 통해 사용자는 다양한 프로세스 단계에서 실시간 데이터를 보고 즉석에서 프로세스 매개변수를 조정할 수 있습니다. MARK II 는 변동 수준이 낮아 비용과 시간을 모두 줄여 정확도가 높은 결과를 제공합니다. 이러한 기능은 유연성과 함께, 이 장치를 포토레스 처리 (photoresist processing) 를 위해 안정적이고 효율적인 도구로 만듭니다.