판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #9226101

TEL/TOKYO ELECTRON MARK II는 포토 esist 기술 프로세스를 사용하는 고급 리소그래피 장비입니다. Photoresist는 매우 정확한 결과를 산출하는 고급 microfabrication 방법입니다. TEL MARK II 시스템은 반도체 칩 제조를 위해 설계되었으며, 리소그래피 구성 요소의 고급 조합을 포함합니다. 두 가지 주요 요소를 사용합니다. 마스크없는 정렬자와 스테퍼. 마스크 리스 (Maskless) 정렬기는 광원에서 광자의 흐름에 포토 마스크 (photomask) 의 격자 구조를 노출시키는 장치입니다. 광마스크 의 정렬 은 일련 의 거울 과 "갈바노미터 '에 의하여 정확 하게 조절 된다. 스테퍼를 사용하면 기판에 패턴을 정확하게 배치 할 수 있습니다. "스테퍼 '는 움직 일 수 있는" 스테이지' 와 기판 의 배치 를 정확 하게 제어 하는 연산 제어 "모터 '를 가지고 있다. 또한, 스테퍼에는 레이저 정렬 및 초점 장치, 정렬 광원, 더 높은 해상도의 이미징을 위해 조정 가능한 펄스 너비의 빔 강화 (beam intensfier) 가 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK II는 포토 esist 처리 실과 함께 사용될 수도 있습니다. 이 챔버 (chamber) 는 포토레시스트 물질을 처리하여 샘플 기판 표면에 적용하는 밀봉 된 시설입니다. 스핀 코팅, 가스 활성화, 에칭 및 드라이 필름 개발과 같은 포토 esist 처리 단계에서 다양한 도구를 사용할 수 있습니다. 마크 II 머신 (MARK II machine) 은 안정적이고 정확한 결과를 제공하기 때문에 석판 공정에 이상적인 선택입니다. 이 도구의 컴포넌트는 잘 일치하므로, 정확성과 효율성이 높은 나노 (nanoscopically) 크기의 회로를 만드는 데 사용될 수 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON MARK II 자산을 전문적으로 서비스 및 수리하여 다운타임 최소한의 정교한 구성 요소를 만들 수 있습니다.