판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #9128576

TEL / TOKYO ELECTRON MARK II
ID: 9128576
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1991
Developer, 6" 1991 vintage.
텔/도쿄 일렉트로닉 마크 II (TEL/TOKYO ELECTRON MARK II) 는 가시광선 리소그래피와 양성 광사 조합을 사용하여 광범위한 재료에서 미세 구조를 만드는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템에는 스캐너, 광 정렬 장치 및 모노 블록 노출 모듈이 포함됩니다. 광학 정렬기 (Optical Alignment Machine) 의 광학 (Optic) 은 개체 주위를 자유롭게 회전하여 다양한 각도와 노출 시간으로 복잡한 패턴을 작성할 수 있습니다. 광학 스캐너 (optical scanner) 는 스캐너의 슬릿 (slit) 내에서 객체를 이동하여 광학 정렬 도구에 대해 제어된 위치를 허용합니다. "레이저 '의 광선" 프로파일' 은 조정 이 가능 하여 "레이저 '동력, 초점 및 방향 을 쉽게 조정 할 수 있다. 노출 모듈은 UV 램프와 석영 창으로 구성되며, 이는 다공성이며 UV 방사선이 통과 할 수 있습니다. 자외선 램프 (UV lamp) 는 매우 정확한 방사선을 생성하는데, 이는 포토 esist 물질을 정확하게 노출시켜 원하는 미세 구조를 만드는 데 사용됩니다. 쿼츠 창은 노출 과정에 대한 환경 요인의 영향을 줄이는 데 도움이됩니다. 이 자산은 미세 구조 준비를 위해 전용 포토레스트 라인을 사용합니다. 광저장제는 유리, 실리콘, 기타 물질을 포함한 다양한 기질에 적용 될 수있다. 따라서 광범위한 애플리케이션에 이상적입니다. TEL MARK II 모델은 복잡하고 정확한 미세 구조를 만들기 위해 다양한 산업에서 사용됩니다. 전극, 필터, 마이크로 칩, 회로 보드 및 기타 구성 요소와 같은 항목을 만드는 데 사용됩니다. 또한 보철물 및 기타 의료 기기를 만드는 데 사용됩니다. 광원 이 매우 정확 한 감광 물질 을 노출 시킴 으로써, 그 장비 는 복잡 한 구조 를 만들어 낼 수 있게 해 준다. 그렇다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON MARK II 포토 esist 시스템은 정확한 미세 구조를 만드는 데 사용되는 고급 도구입니다. 광 스캐너, 정렬 장치, 노출 모듈로 구성됩니다. 기계는 전극, 필터, 마이크로 칩, 회로 보드 및 보철물과 같은 항목을 만드는 데 사용됩니다. 고품질 미세 구조를 생산할 수 있도록 많은 산업에 필수적입니다.
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