판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #293748580

TEL/TOKYO ELECTRON MARK II Photoresist Equipment는 사진 해설에서 최첨단 성능을 제공하는 최첨단 시스템입니다. 포토리토그래피 (Photolithography) 는 반도체 및 기타 전자 기기의 제작 과정에서 기판에 피쳐와 패턴을 만드는 데 사용되는 도구입니다. TEL MARK II Photoresist Unit은 매우 작고 정밀도가 높은 리소그래피 응용 프로그램에 사용하도록 설계되었습니다. 강력하면서도 컴팩트한 기계는 빠르고 정확한 포토 esist 코팅 및 이미징 기능을 제공합니다. 이 도구에는 고정밀 액체 디스펜서, 프로그래밍 가능한 로봇 암 (robot arm) 및 노출 및 간격 매개변수를 정확하게 제어 할 수있는 이미징 에셋 (imaging asset) 이 장착되어 있습니다. 이 모델의 고정밀 액체 디스펜서 (high-precision liquid dispenser) 는 기판 위에 포토 esist의 균일 한 층을 배치하도록 설계되었습니다. 그러면 "로봇 '암 은 빛 에 노출 될 물질 을 정확 히 배치 하고, 영상 장치 는 노출 의 강도, 지속 시간, 입사각 을 정확 히 제어 한다. 이 시스템에는 광원, 벨트 머신 및 사진 마스크로 구성된 3 단계 노출 장치가 있습니다. 광원은 다양한 제논 아크 램프, UV 레이저 다이오드 및 DXR 소스로 구성되어 있으며, 다양한 노출 강도와 펄스 길이를 제공합니다. 벨트 도구에는 X-Y 변환 단계, 확장 범위가 있는 중점 확대/축소 현미경, 스테퍼 모터 구동 초점 및 줌 제어 등 다양한 기능이 있습니다. 사진 마스크는 이미지 패턴을 기판으로 정확하게 전송하는 데 사용됩니다. 이 자산에는 통합 액체 분배 로봇, 화학 가공 로봇 및 실시간 모니터도 포함됩니다. 액체 분배 로봇은 기판에 균일 하고 다공성 포토레스 코팅 (coating of photoresist) 을 배치하고, 화학 가공 로봇은 노출 기질 준비를위한 응용, 제빵, 화학 가공 및 포스트 베이킹을 제어합니다. 실시간 모니터는 운영자가 주입 및 치료 프로세스를 모니터링하고, 기판을 광원에 노출시키고, 노출 후 베이킹 (baking) 매개변수를 제어할 수 있도록 지원합니다. 또한, 이 모델에는 다양한 도량형 (metrology) 기능이 장착되어 보드의 정확성과 균일성을 보장합니다. 이러한 기능에는 마이크로 미터 자동 정렬, 초점 깊이 관찰 및 사진 석판 촬영 중 빛 측정이 포함됩니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON MARK II Photoresist Equipment는 기판에서 기능과 패턴을 만드는 데 탁월한 정확성, 정확성 및 반복 성을 제공합니다. 혁신적인 기능과 기능으로, 시스템은 거의 모든 기능 크기 (feature size) 와 복잡성 (complexity) 을 상상할 수 있도록 만들 수 있습니다.