판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #293592869

ID: 293592869
빈티지: 1988
Coater / Developer systems 1988 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK II는 최대 4 인치 웨이퍼의 직접 영상을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템의 주요 구성 요소는 초고확대 프로젝션 광학, 정밀 단계, 통합 PC 및 소프트웨어입니다. TEL MARK II의 프로젝션 광학은 최대 814mm × 1.2mm의 고해상도 이미징 기능과 최대 1.75의 배율을 제공합니다. 이미징 렌즈는 통합 할로겐 램프에 의해 조명되는 다중 요소 줌입니다. 렌즈의 이중 광학 단면은 저배율 및 고배율 이미징을 용이하게합니다. 또한, 렌즈에는 서로 다른 확대/축소 레벨 사이에서 빠르게 이동하기 위해 닫힌 루프 자동 빠른 확대/축소 작업이 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK II의 정밀 단계는 부드러운 작동과 빠른 포토 esist 운동을 위해 설계되었습니다. 이 장치는 피에 조 (piezo) 구동 모터를 사용하여 웨이퍼 단계를 초당 최대 1mm로 정확하게 이동합니다. 스테이지는 내부 메모리 머신 (internal memory machine) 에 의해 관리되며, 이 머신은 최대 10,000개의 웨이퍼 좌표를 저장하고, 사용자가 빠르게 둘 사이를 이동할 수 있도록 합니다. 통합된 PC 및 도구의 소프트웨어는 여러 이미지 형식을 처리할 수 있으며, 다양한 웨이퍼 (wafer) 치수에 맞게 쉽게 프로그래밍할 수 있습니다. 또한 고급 스플라이싱 (splicing) 기능을 통해 다양한 wafer 섹션의 이미지를 원활하게 결합할 수 있습니다. 또한 프로그래밍 가능한 노출 시퀀싱, 자동 초점, 조정 가능한 이미징 매개변수 등의 고급 기능도 제공합니다. MARK II는 최대 4 인치 웨이퍼의 효율적이고 정확한 photoresist 이미징에 이상적입니다. 초고화질 (Ultra-High) 광학 및 정밀도 (Precision) 단계는 필요한 정확성과 해상도를 제공하는 반면 PC 및 소프트웨어는 다양한 고급 이미징 기능을 제공합니다.
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