판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9364577

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8은 반도체 장치 제조에 사용하기 위해 만들어진 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 직경 450 밀리미터 (450 mm) 의 기판을 처리하도록 설계되었으며 최대 몇 미크론 두께의 광저항층 (photoresist layer) 을 기판에 노출 할 수 있습니다. TEL MARK8 장치는 포토 마스크 노출 프로세스가 정확하고 반복 가능하도록 다양한 기능을 자랑합니다. 이 기계는 최대 1 kV의 초고해상도 (ultra-high resolution) 를 제공하는 이미지 투영 도구로 구동되며, 정밀 광학 자산 설계를 통해 최대 2 mJ/cm2의 이미지 해상도를 생성합니다. 또한 모델은 자동 정렬 (Auto-Align) 과 같은 고급 프로세스 자동화 기술을 사용합니다. 이 기술은 기판을 자동으로 정렬하여 더 높은 정확도와 반복성을 보장하며 자동 최적화 (Auto-Optimization) 를 통해 노출 매개변수를 자동으로 조정하여 최적의 프로세스 조건을 보장합니다. 이 장비에는 응용 프로그램 모니터링, 노출 조건, 마스크 정렬 (mask alignment), 기타 매개변수 등 다양한 진단 프로그램을 실행하는 고급 컴퓨터 시스템 (advanced computer system) 도 장착되어 있습니다. 이를 통해 연산자는 문제를 해결하고 안정적인 photoresist 프로세스를 확인할 수 있습니다. 사용시 안전을 보장하기 위해 TOKYO ELECTRON MARK-8 포토레스 장치 (photoresist unit) 는 공기 입자 감지 및 이미지 투영기 위의 보호 커버와 같은 수많은 안전 기능으로 설계되었습니다. 게다가, 이 도구는 잠재적인 노출 관련 오류를 감지하고 오류가 발생하면 즉시 전원을 차단할 수 있도록 하는 다양한 보호 기능 (Protection Function) 을 갖추고 있습니다. 마지막으로, 이 자산은 사용이 간편하며, 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 와 종합적인 문서 (Comprehensive Documentation) 를 통해 운영에 대한 지침을 제공합니다. 이 모델은 또한 최적의 프로세스 조건을 보장하기 위해 사전 프로그래밍 된 설정 라이브러리 (Library of pre-programmed settings) 를 준비했습니다. 전반적으로 MARK-8은 높은 정확도, 반복성, 안전 기능, 손쉬운 작동 및 사전 프로그래밍 설정으로 인해 반도체 장치 제조에 사용할 수있는 완벽한 포토 esist 장비입니다.