판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9314983

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 photoresist 장비는 고품질 집적 회로를 안정적으로 설계, 개발 및 제조하기위한 업계 최고의 시스템 중 하나입니다. 혁신적이고 다목적 (versitile) 기능으로 설치, 주기 시간, 비용 등 최소 양의 폐기물로 복잡하고 복잡한 설계를 제작할 수 있습니다. TEL MARK8은 통합 피로미터 및 냉각판을 특징으로하며, 섭씨 500 ~ 1000 도의 온도에 도달 할 수있는 가열 된 챔버를 가지고 있습니다. 또한 진공 -UV 폴라리제이션 광학 시스템 (Vacuum-UV Polarization Optics System) 이 있으며 석판 프로젝터의 편광 및 초점 기능을 최적화합니다. 이를 통해 가능한 가장 정확한 이미징이 달성됩니다. 또한, 이 장치는 사용자 친화적이고 반복 가능한 프로세스 매개 변수를 제공하는 데 번성합니다. 이를 통해 장기간 매우 최적화되고 일관된 리소그래피 (lithography) 프로세스를 수행할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK-8 (TOKYO ELECTRON MARK-8) 에는 챔버 내에서 유지되는 저항의 부피를 모니터링하고 제어하여 일관되고 반복 가능한 결과를 제공하는 CD (Capacity Drain) 모듈도 있습니다. 또한, PA (Photo Asher) 모듈은 노출 된 저항의 조기 제거 및 더 많은 산화가없는 에칭 프로세스를 허용합니다. Mark 8의 VIS (Visual Inspection Machine) 는 석판화 결과가 프로세스 최적화를 위해 면밀히 모니터링되도록 합니다. 파퍼 (wafer) 표면에서 잔류를 감지하고 제거하는 데 사용되며, 에칭 전에 패턴 무결성 (pattern integrity) 을 확인하는 데 사용할 수 있습니다. 이 툴의 TAS (Total Automation Asset) 를 통해 다양한 작업을 자동화하여 사용자가 처리량과 품질을 향상시킬 수 있습니다. 데이터 기반 작업을 지원하여 리소그래피 결과를 검사하고 프로세스 최적화 추세를 파악합니다 (영문). 마지막으로, MARK8의 Image Sensor 모델은 빠르고 정확한 데이터 분석을 제공하고, 장비 조건을 최적화하고 세밀하게 조정하여 높은 정확도의 리소그래피 (lithography) 를 보장하도록 설계되었습니다. MARK-8 photoresist 시스템은 일관성 있고, 비용 효율적이며, 정확한 석판화를위한 강력하고 효율적인 도구입니다. 즉, 고급 기능을 통해 설치 비용과 주기 시간을 최소화하면서 복잡한 설계를 개발할 수 있으며, 통합된 기능을 통해 정확성을 보장하고 전반적인 생산성을 향상시킬 수 있습니다 (영문).