판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9314251

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 포토 esist 장비는 포토 esist를 개발하고 패턴화하기위한 완전히 통합 된 시스템입니다. 높은 화면 비율로 섬세한 구조를 패턴화하는 데 업계 최고의 정확성과 반복 성을 제공합니다. 이 장치는 최첨단 하드웨어 및 소프트웨어 구성 요소를 결합하여 패턴 화 포토레스 처리 (patterned photoresist processing) 를위한 포괄적 인 솔루션을 제공합니다. TEL MARK8은 정밀 선형 드라이브 (precision linear drive) 와 고해상도 디지털 현미경 (high-resolution digital microscope) 을 갖춘 모터 스테이지 (motorized stage) 를 사용하여 포토 esist 물질의 정확한 위치 및 조작을 허용합니다. 이 단계에서는 패턴과 움직임을 정확하게 반복하여 처리량을 높일 수 있습니다. 스테이지는 제어 소프트웨어 (Control Software) 를 통해 컴퓨터로 제어되며, 이는 프로세스 매개변수의 설정 및 분석을 단순화합니다. 이 기계에는 정밀 자외선 (UV) 조사 및 감광 물질 패턴을위한 광학도 포함됩니다. TOKYO ELECTRON MARK-8은 노출 용량을 제어하기위한 전동 감쇠기가 장착 된 다파 광 엔진을 갖추고 있습니다. 라이트 엔진에는 노출 필드 (exposure field) 를 좁히는 조절 가능한 시조기와 버스트 모드 (burst mode) 노출을위한 셔터가 있습니다. TEL Mark 8에는 통합 소프트웨어 패키지가 있으며, 여기에는 표준 시각화, 알고리즘, 그래픽 및 분석 도구뿐만 아니라 노출 및 광학 매개변수를 제어하는 소프트웨어가 포함됩니다. 모든 기능을 갖춘 작업 계획, 레시피 편집 및 데이터 관리도 포함됩니다. 소프트웨어는 사용자의 운영 및 연구 요구에 맞게 설계되었습니다. TEL MARK-8 도구는 저항, 아크릴 레이트 및 기타 감광 폴리머와 같은 감광 물질과 함께 사용하도록 설계되었습니다. 또한 스핀 (spin), 스프레이 (spray) 및 에어로졸 코팅 (aerosol coating) 과 같은 다양한 패턴 기술과도 호환되며 양수 및 음수 패턴에 모두 사용할 수 있습니다. 이 자산은 프로세스 제어, 정확성, 품질, 속도에 중점을 두고 개발되었습니다. 이를 통해 사용자는 더 짧은 시간 내에 더 나은 결과를 얻을 수 있습니다. 이 모든 요소들은 나노 스케일 (nano-scale) 에서도 정확하고 반복 가능한 패턴을 생성 할 수있는 고급 포토 esist 모델을 형성하기 위해 결합합니다. 마크 8 포토레시스트 (Mark 8 photoresist) 장비는 다양한 산업을위한 연구 및 생산 패턴화 응용 분야에 이상적인 솔루션을 제공합니다.