판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9276274

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TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8
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ID: 9276274
(2) Coater / (2) Developer system, 8" Single block Chemical cabinet KOMATSU T&H Controller Adhesion Process Station (ADH) (2) Chill Plates (CPL) (4) Low Temperature Hot plates (LHP) with hi-exhaust (6) High Temperature Hot plates (HHP) AC Power box Temperature control External chemical cabinet 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8은 고급 반도체 제작 프로세스를 위해 설계된 Photoresist Equipment입니다. 이 시스템은 전반적인 프로세스 성능을 향상시키기 위해 설계된 다양한 기능을 제공합니다. 19 인치 640x480 TFT 컬러 모니터와 내장 Windows NT 작동 장치가 있습니다. 웨이퍼 정렬, 기판 매핑, 포토 esist 스핀 코팅과 같은 여러 프로세스를 호스팅 할 수 있습니다. TEL MARK8 (TEL MARK8) 에는 증착 된 기판 구조의 임계 치수를 정확하게 측정 할 수있는 고급 포토 esist 센서가 장착되어 있습니다. 또한 레이어 단위 제어 (Layer-by-layer control) 에 노출 시간을 조정하여 패턴 결함의 발생을 줄일 수있는 통합 머신을 제공합니다. 또한, 자동 액체 분배 도구를 사용하여 자동 스핀 코팅을 수행할 수 있습니다. 기계의 사용자 인터페이스 (user interface) 는 쉽게 배우고 사용할 수 있으므로 비용과 학습 곡선을 모두 줄일 수 있습니다. 이 자산은 다양한 대형 화면 LCD 디스플레이와 사용자 친화적 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통한 효율적인 작동을 위해 설계되었습니다. 이 장치에는 노출 오류를 줄이기 위해 내장 타이머 (timer) 가 장착되어 있어 일관성 있고 안정적인 포토레지스트 (photoresist) 처리가 가능합니다. TOKYO ELECTRON MARK-8 (TOKYO ELECTRON MARK-8) 은 또한 내장 안전 기능 및 액세스 보호를 통해 무단 인력이 기계 실에 들어가지 못하게합니다. 또한 전원 장애가 발생할 경우 모델을 자동으로 종료할 수 있습니다 (영문). 또한, 이 기계는 최고 성능을 보장하기 위해 실시간 장비 모니터링을 통해 설계되었습니다. 요약하자면, TEL Mark 8은 전반적인 프로세스 성능을 향상시키기 위해 설계된 Photoresist System입니다. 증착 된 기판 구조의 임계 치수를 정확하게 측정하기 위해 고급 포토 esist 센서가 장착되어 있습니다. 이 장치에는 다양한 대형 화면 LCD 디스플레이가 포함된 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스와 노출 오류를 줄이기 위한 타이머 (timer) 가 내장되어 있습니다. 또한 내장된 안전 (Safety) 기능과 액세스 보호 기능, 전원 장애 시 자동 종료 기능도 제공합니다.
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