판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9269843
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ID: 9269843
빈티지: 1996
(1) Coater / (2) Developer system
Left to right
AD
(7) HP
(3) COOL
WEE
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 photoresist 장비는 생산 라인의 리소그래피 애플리케이션을 위해 설계된 고급 사진 처리 플랫폼입니다. 정밀한 배치, 선명도, 반복 성을 갖춘 장치 기판에 박막 포토레지스트가 증착되도록 설계되었습니다. TEL MARK8 시스템은 최신 기술 발전을 활용하여 매우 높은 정확도를 제공합니다. 고해상도 (optic) 를 갖춘 고급 닫힌 루프 자동 초점 장치 (closed-loop autofocus unit) 를 통해 장치 가장자리에 걸쳐 최적의 초점을 유지할 수 있습니다. 이 기계는 또한 다양한 조명 패턴 (lumination pattern) 을 갖춘 개선된 멀티 라인 노출 (multi-line exposure) 도구를 사용하여 사용 편의성과 다양한 장치 모양과 크기를 제공합니다. 또한 TOKYO ELECTRON MARK-8 (TOKYO ELECTRON MARK-8) 에는 최적의 기판 정렬을 보장하는 통합 교정 자산과 미세 튜닝 정렬을 위한 사용 가능한 소프트웨어 기반 오버레이가 제공됩니다. 사진 처리 플랫폼 (photo-processing platform) 은 또한 고급 필름 스캐닝 기능을 제공하여 웨이퍼에 추가 프로세스가 적용되기 전에 정확한 도량형 검사를 허용합니다. 이렇게 하면 운영 프로세스의 다음 단계에 들어가기 전에 장치 기판이 품질 (quality) 이 허용됩니다. 마크 8 (MARK-8) 은 또한 코어에 견고한 자동화 모델로 설계되어 제조업체가 기존 생산 프로세스에 쉽게 도입 할 수 있습니다. 이 장비는 증착률 (Deposition Rate) 측면에서 높은 속도를 자랑하며, 메모리 칩, 논리 칩, 디스플레이 장치 등 다양한 반도체 (Semiconductor) 장치를 위한 완벽한 선택입니다. 이를 통해 TOKYO ELECTRON MARK8 포토 esist 시스템은 신뢰할 수있는 포토 esist 증착 및 도량형 솔루션을 찾는 모든 회사의 매력적인 옵션입니다.
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