판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9237369
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판매
ID: 9237369
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1999
(2) Coater system, 8"
Main controller version: 9821KE
CSB: (3) Loaders
COT (Coat process station):
3 Nozzles
(2) RRC Pumps
Solvent automatic supply: (2) Tank auto supplies, CCSS
Side rinse (EBR)
Back side rinse (BSR)
Dev solution automatic supply: Local
(6) LHP (Low temperature hot plate stations)
Chemical box
Temperature controller
T&H
C/S:
CRA Motor
Mapping sensor
Tweezer
Alarm tower
Display panel
Coater:
Chuck
ARM 1
ARM 2
COT Cup
Nozzle
Drain type: Factory direct drain
Coater:
Chuck
ARM 1
ARM 2
DEV Cup
Nozzle
Drain type: Factory direct drain
PRA:
Pincette
Sensor
Bake:
(6) HP Units
(4) Cool units
1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 (TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8) 은 실리콘 웨이퍼 표면에 짝수 층의 물질을 적용하도록 설계된 컴퓨터 제어 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 레이저 조사 장치, 광학 헤드, 샘플 스테이지 및 컴퓨터 제어 기계로 구성됩니다. 레이저 조사 도구에는 펌프 레이저 다이오드와 펌프 레이저 공동이 포함됩니다. "다이오드 '에 광학" 신호' 를 적용 하면, "레이저 '는 적외선 의 좁은 광선 을 내며, 그 다음" 레이저' 동굴 에 배속 되어 그 신호 를 여러 배 의 원래 의 동력 으로 증폭 시킨다. 그런 다음, 증폭된 신호가 공동에서 광학 머리로 리디렉션됩니다. 광학 헤드에는 여러 개의 광학 렌즈 (optical lenses) 와 출력 빔의 모양과 크기를 결정하는 빔 스플리터 (beam splitter) 가 있습니다. 샘플 스테이지 (sample stage) 는 웨이퍼를 고정시키는 데 사용되며 스테이지 (stage) 와 레이저 (laser) 의 정확한 움직임을 조정하는 컴퓨터 제어 에셋에 연결됩니다. 컴퓨터 제어 모델 (computer-controlled model) 은 사용 된 광물질 (photoresist material) 의 특성에 따라 레이저의 노출에 따라 다를 수 있습니다. 이 장비 는 또한 "빔 '의 크기 와 모양 을 변경 시켜 광전사 의 정확 한 노출 을 보장 할 수 있다. 노출 후, 포토 esist는 웨이퍼에서 제거되고 웨이퍼는 추가 처리 할 준비가되었습니다. TEL MARK8 (TEL MARK8) 은 실리콘 웨이퍼에서 정확하고 균일 한 레이어를 생성 할 수있는 고도로 고급 컴퓨터 제어 포토 esist 시스템입니다. 이 장치는 웨이퍼 (Wafer) 제작 프로세스에 사용되어 여러 업종에서 사용되는 복잡한 회로와 컴포넌트를 구축합니다. 정확성은 다양한 유형의 응용 프로그램에 이상적인 도구입니다.
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