판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9237074

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8
ID: 9237074
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1999
Track system, 8" 1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8은 반도체 장치 제조를 위해 설계된 고도의 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 고해상도, 고대비 고급 이미징 광학, 고급 이미지 분석 알고리즘 및 정밀 저항 전달 시스템 (Precision Resist Delivery System) 을 사용하여 기존의 사진 리스토그래픽 방식보다 빠르고, 효율적이며, 비용 효율적인 리소그래픽 프로세스를 지원합니다. 이 장치는 소규모 포토 마스크 제작에서 대규모 생산 작업에 이르기까지 다양한 리소그래피 (lithography) 및 에치 (etch) 프로세스에 통합되도록 설계되었습니다. 고성능 광학 장치 (Optics) 와 고속 데이터 처리 (Data Processing for Image Processing) 의 조합으로 기계는 포토레시스트의 정확한 정렬과 빠른 노출을 제공 할 수 있습니다. "스텝 앤 리피트 (step-and-repeat)" 및 "오버레이 (overlay)" 기능을 지원하여 여러 노출 필드를 연속적으로 처리 한 다음 패턴 정확도를 향상시킵니다. 이 도구에 사용되는 고급 이미지 분석 알고리즘은 정확한 노출 된 포토 레스트 (photoresist) 를 위해 고대비 이미지를 추출하기 위해 비스듬한 조명 기술 (예: 비스듬한 조명) 을 사용합니다. TEL MARK8 (TEL MARK8) 은 또한 효율적인 저항 코팅 및 패턴화를 위해 고급 증착 자산과 함께 사용될 수 있으며, 이는 높은 처리량 프로세스에 대한 적용을 더욱 향상시킵니다. TOKYO ELECTRON MARK-8의 강력한 기계적 설계는 일관되고 안정적인 성능을 보장합니다. 모듈식 설계를 통해 유지 보수가 쉽고, 다른 프로세스 요구 사항에 맞게 모델을 조정할 수 있습니다. 이 장비는 적은 설치 공간을 제공하여 총 시스템 비용을 절감하도록 설계되었습니다. Mark 8은 고급 포토레스 장치 외에도 고급 자동화 및 제어 시스템도 지원합니다. 이 통합은 고객에게 석판화 (lithography) 프로세스의 다양한 측면을 제어하기 위한 완벽한 시스템 엔지니어링 툴을 제공합니다. 통합 자동화 솔루션은 각기 다른 리소그래피 (lithography) 와 에치 (etch) 프로세스 간의 복잡한 상호 작용을 단순화하여 기능을 더욱 향상시킵니다. 요약하자면, TOKYO ELECTRON Mark 8은 석판 공정의 높은 생산성과 비용 효율성을 촉진하기 위해 설계된 고도의 포토리스 (photoresist) 기계입니다. 이 제품은 고해상도 이미징 (High-Resolution Imaging) 및 정확한 저항 (Resist) 기능을 제공하며 통합 프로세스 제어를 위한 고급 자동화 및 제어 솔루션을 제공합니다.
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