판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9237072

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8은 고정밀 마이크로 부품을 만들기 위해 특별히 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 특허를받은 in-situ 마스킹 챔버를 사용하여 나노 미터 스케일 기능을 생성합니다. 특히 MEMS (microelectromchanical system) 및 반도체 칩 제조와 관련된 응용 분야에 유용합니다. TEL MARK8 장치 (TEL MARK8 unit) 를 사용하면 저항 패턴의 세부내용을 정확하게 제어할 수 있으며, 노출로 인한 웨이퍼 손상을 최소화하면서 정확한 피쳐를 생성할 수 있습니다. 이 기계는 최대 해상력 0.5 (m) 를 가지며 마스크와 웨이퍼의 정확한 정렬을 보장하는 3 축 간트리 모션 도구를 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 저항층 의 "패턴 '을 정확 히 등록 하는 데 도움 이 된다. 자산의 핵심에는 고출력 광대역 레이저 소스 (broadband laser source) 가 있어 저항층 (resist layer) 을 빠르고 정확하게 노출 할 수 있습니다. 이 레이저 소스 (laser source) 는 또한 생산 프로세스 전반에 걸쳐 일관성을 유지하는 데 도움이되며, 매우 정확한 마스크 및 웨이퍼를 생성하기 위해 필요한 경우 노출 매개변수를 변경할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 저항의 품질을 향상시키기 위해 설계된 현장 (in-situ) 클리닝 모듈도 갖추고 있습니다. 또한 TOKYO ELECTRON MARK-8 (TOKYO ELECTRON MARK-8) 은 마스킹 및 웨이퍼 클리닝 기능 외에도 제조 과정에서 챔버에서 적절한 조건을 모니터링하고 유지할 수 있는 옵션도 제공합니다. 이는 최고 품질의 결과와 빠른 제조 주기를 보장하는 데 도움이됩니다. 전반적으로 MARK8은 사용자가 마이크로 구성 요소를 만드는 효율적인 플랫폼을 제공합니다. 특허를 받은 인사이트 마스킹 챔버 (in-situ masking chamber), 강력한 레이저 소스 (laser source) 및 기타 기능으로, 최고 품질의 마이크로 제작을 달성하기에 이상적인 장비입니다. 사용 편의성 및 제어 (Control of Use and Control) 기능을 통해 구성 요소 생산에 필요한 모든 사용자에게 탁월한 선택입니다.