판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9216917

TEL (TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8) 은 최신 사진 촬영 유틸리티를 제공하는 고급 사진 촬영 시스템입니다. 이 시스템은 구성 가능한 웨이버 프론트 (waverfront) 수정 기능을 통해 반도체 웨이퍼 전반에 걸쳐 매우 정확한 패턴을 만들 수 있습니다. 자동 작동을 통해 정렬된 오버레이, 오버레이 무결성 테스트 및 자동 초점이 용이합니다. TEL MARK8은 또한 스테퍼 보조 패턴 생성 (stepper-assisted pattern generation) 을 지원하며, 하위 해상도 그리드를 세밀하게 조정할 수 있으며, 이는 반도체 산업의 마이크로 프로세싱에 매우 유용합니다. TOKYO ELECTRON MARK-8에는 2 개의 조명기, 주 조명기 및 OPT 모드가 장착되어 있습니다. 주요 조명기는 고해상도 저항을위한 다양한 석영, 석영 할로겐, 확산 및 레이저 기반 조명원을 허용합니다. OPT 모드는 특수 조명 소스 (lumination source) 를 특징으로하며, 주 조명기보다 효율성과 균일성이 큰 전체 웨이퍼 전체에 이미지 라이트를 제공합니다. TEL Mark 8은 photoresist 패턴 개발 및 전송을위한 다양한 옵션을 제공합니다. 정밀 이미징 키트 (Precise Imaging Kit) 를 사용하면 패턴을 포토 esist 레이어로 직접 개발하여 사전 도금 단계가 필요하지 않습니다. 또한, 양수 또는 음수 포토 esist를 기판 전사 키트 (Substrate Transfer Kit) 를 사용하여 주 저항 레이어에서 기본 기판으로 옮길 수 있습니다. TEL MARK-8은 프로세스 최적화를 용이하게하기 위해 다양한 기능을 제공합니다. 최적화 기능의 예로는 최적화된 노출 시간, 가변 노출 용량, 정확한 노출 반경 제어 등이 있습니다. 이 시스템은 또한 입자 제거, 반도체 웨이퍼 클리닝 및 스핀 코팅을위한 자유롭게 정의 가능한 공정 레시피를 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON MARK8은 21 세기에 반도체 생산에 필요한 고품질 이미지를 사용자에게 제공합니다. 사진 촬영 중 광학적으로 이미지를 세밀하게 조정할 뿐만 아니라, 변화하는 업계 트렌드를 수용하는 데 필요한 유연성을 사용자에게 제공합니다 (영문). 자동 기능에는 이미지 중복 수정, 오버레이 제어 및 photoresist 프로세스 최적화가 포함됩니다. 또한 MARK8 의 조정 가능한 조명 소스 (lumination source) 및 이미지 데이터 전달 (image data delivery) 기술을 통해 처리량이 뛰어난 정밀 이미지를 생성할 수 있습니다.